IHTM PLAVI
Универзитет у Београду
Институт за хемију, технологију и металургију
Институт од националног значаја за Републику Србију

grb BUУниверзитет у Београду

Планарне и МЕМС технологије

Руководилац: Весна Јовић

Група се бави развојем и применом планарних технологија, укључујући фотолитографију, оксидацију и дифузију силицијума, наношење танких филмова, развојем и применом метода микро и нанофабрикације укључујући запреминско и површинско микромашинство.

planarne mems

Тематика

  • планарне технологије
  • Запреминско и површинско микромашинство
  • Финансиран од ЕУ као западнобалкански центар изврсности за микро и наносистемске технологије Regmina FP7

  • Центар изузетних вредности МПНТР за микро и наносистемске технологије од 2014.

  • Носилац сертификата ISO 9001.

Контакт

centar za mikoelektronske tehnologije

Центар за микроелектронске технологије

Адреса:
Његошева 12
11000 Београд
Лабораторије:
Студенски трг 16/III, Београд
Телефон: +381 11 2638 188
Фаx:+381 11 2182 995
e-mail:
dana@nanosys.ihtm.bg.ac.rs