IHTM PLAVI
Универзитет у Београду
Институт за хемију, технологију и металургију
Институт од националног значаја за Републику Србију

grb BUУниверзитет у Београду

Микро и наногредице

Микрогредице су минијатурне механичке структуре чија функција се  заснива на њиховој механичкој деформацији при примени спољњег стимулуса. Првобитно су коришћене као осетљиви елемент микроскопа са скенирајућом сондом (SPM, AFM), затим као основни елемент ултраосетљивих сензора бројних физичких и хемијских параметара и као елементрадиофреквенцијских (РФ) МЕМС и НЕМС компоненти

        У Центру се од 2000. године врше теоријска и експериментална истраживања у области сензора са микро/наногредицама и РФ МЕМС/НЕМС резонантних гредица. У области сензора,раде се теоријска истраживања механичког понашања микро/наногредица хомогеног састава, као и биматеријалних структура, изложених различитим стимулусима. У Центру суекспериментално израђене микрогредице са пиезоотпорном и оптичком методом детекције помераја, што је резултат јединствен у Србији и региону. Микрогредице од злата за мерење малих ЕМ сила су пројектоване и израђене у Центру. Поред тога, развијен је метод за карактеризацију механичких параметара гредица које су од проводног материјала или садрже проводну контуру.

mikro

У области РФ МЕМС/НЕМС резонантних гредица у Центру се врше истраживања фазног шума ових компоненти, који битно утиче на перформансе система, а тиме и на могућност примене микро/наногредица у савременим и будућим бежичним уређајима. Анализира се адсорпционо-десорпциони фазни шум, по којем су РФ МЕМС/НЕМС електромеханички резонатори специфични у односу на микроелектронске компоненте и електромеханичке компоненте већих димензија, а који може да буде доминантан са смањењем димензија гредица. Анализа у којој се разматра адсорпција смеше гасова на површини микро/нанорезонатора је оригинални резултат истраживача Центра. Она омогућује оптимизацију дизајна компоненти,  склопова и система и развој метода за минимизацију деградације сигнала.

  • Финансиран од ЕУ као западнобалкански центар изврсности за микро и наносистемске технологије Regmina FP7

  • Центар изузетних вредности МПНТР за микро и наносистемске технологије од 2014.

  • Носилац сертификата ISO 9001.

Контакт

centar za mikoelektronske tehnologije

Центар за микроелектронске технологије

Адреса:
Његошева 12
11000 Београд
Лабораторије:
Студенски трг 16/III, Београд
Телефон: +381 11 2638 188
Фаx:+381 11 2182 995
e-mail:
dana@nanosys.ihtm.bg.ac.rs