Истраживања у Центру обухватају различите типове МЕМС сензора у чипу као што су акцелерометри и МЕМС жироскопи. За основни принцип очитавања ових направа изабран је пиезоотпорни ефекат. Изучавања акцелерометара била су усмерена на осетљивије чипове са нестандардним мерним опсезима, јер се стандардни праве у великим серијама за нпр. аутомобилску индустрију или мобилну телефонију. Коришћен је приступ сличан оном који се у Центру употребљава за израду МЕМС сензора притиска, тј. запреминским микромашинством се израђује дијафрагма у монокристалном силицијуму у коју се планарним технологијама убацују пиезоотпорници у конфигурацији Витстоновог моста, а на средини дијафрагме формира се средишње испупчење ("boss") које служи као интерцијална маса, или се алтернативно на тај део поступком микромонтаже фиксира додатна инерцијална маса. Као технолошки приступ МЕМС жироскопима разматрана је технологија површинског микромашинства, којом се формира тзв. Кориолисов вибрациони жироскоп односно жироскоп са вибрационом структуром, конкретно употребљавају се упарене пробне масе које се доводе до резонанције (тзв. tuning fork жироскоп).