IHTM PLAVI
Универзитет у Београду
Институт за хемију, технологију и металургију
Институт од националног значаја за Републику Србију

grb BUУниверзитет у Београду

МЕМС микрореактори

МЕМС системи за примену у динамици флуида на микро нивоу су једна од најважнијих примена у процесном хемијском инжењерству. Основни ступњеви хемијских процеса су размена топлоте односно енергија активације која дефинише кинетику реакција и мешање којим се успоставља контакт супстанци које реагују на молекулском нивоу. У микрореакторима оба наведена ступња се одвијају на контролисан начин уз постојање добре хомогености у читавој запремини јер се ради о микрометарским и субмилиметарским димензијама. Последица је велика вредност површине према запремини и мале вредности дифузионог пута што све повећава брзине масеног трансфера. Ови аспекти пружају могућност постизања агресивнијих ступњева хемијских реакција које није могуће остварити у макрореакторима из физичких, квалитативних или сигурносних разлога. Надаље, микрореактор се може интегрисати у микроаналитичке уређаје у делу пре анализе у циљу припреме узорка или појачања сигнала.

        Микрореактори обухватају врло широку класу уређаја који се међусобно даље разврставају према комплексности, степену интеграције, физичким и хемијским принципима и областима примене (микробиосистеми, хемијска синтеза, енергетски извори, као сто су микрофабриковане гориве ћелије (SOFC - solid oxide fuel cell), итд.

        Наш центар располаже знањем за пројектовање и технологијама израде микрореактора за одређене намене. Микрофабрикација обухвата процесе запреминског и површинског микромашинства на силицијуму, стаклу и неким полимерима (PDMS, нпр.), технике наношења металних и диелектричних танких слојева за различите намене (грејачи, катализатори и сл.), анодно бондовање и бондовање са међуслојем, фотолитографију, микроплазма заваривање.

        С обзиром да истраживачка тематика Центра покрива области МЕМС сензора притиска и температуре, као и хемијских сензора, требало би нагласити и могућност интеграције ових сензора са микрореакторима.

        Једна од класа микрореактора од интереса су фотокаталитички микрореактори код којих је процес убрзан површинским плазмонима поларитонима, захваљујући великим локализацијама поља уз површину у оваквим структурама.

  • Финансиран од ЕУ као западнобалкански центар изврсности за микро и наносистемске технологије Regmina FP7

  • Центар изузетних вредности МПНТР за микро и наносистемске технологије од 2014.

  • Носилац сертификата ISO 9001.

Контакт

centar za mikoelektronske tehnologije

Центар за микроелектронске технологије

Адреса:
Његошева 12
11000 Београд
Лабораторије:
Студенски трг 16/III, Београд
Телефон: +381 11 2638 188
Фаx:+381 11 2182 995
e-mail:
dana@nanosys.ihtm.bg.ac.rs