IHTM PLAVI
Универзитет у Београду
Институт за хемију, технологију и металургију
Институт од националног значаја за Републику Србију

grb BUУниверзитет у Београду

Ултраљубичасти Si фотодетектори

Истражују се силицијумски фотодетектори ултраљубичастог зрачења који су истовремено неосетљиви на видљиво и инфрацрвено зрачење (solar blind). Силицијум је економски најбоља опција за материјал детектора, међутим његов максимум осетљивост је у видљивом и блиском делу спектра, где је и иначе Сунчево зрачење за неколико редова величине јаче од УВ зрачења. Solar blind детектори су од интереса за горионике у индустријским постројењима, али и за заштиту од штетног зрачења.

        У окциру Центра разматрају се два дизајна УВ чипа. Један користи запреминско микромашинство у калијум хидроксиду да формира микрометарски танку дијафрагму у SOI (Silicon On Oxide) плочици. Други користи стандардне силицијумске pin диоде са плитким спојем на које се наноси флуоресцентна боја као конвертор са УВ на видљиво зрачење плус метал-диелектрични филтер произведен у Центру који одсеца видљиво и ИЦ зрачење (потискивање је 4-6 редова величине). Ово друго решење нуди потенцијал врло јефтиних силицијумских УВ диода погодних за масовну употребу и једноставних за израду.

  • Финансиран од ЕУ као западнобалкански центар изврсности за микро и наносистемске технологије Regmina FP7

  • Центар изузетних вредности МПНТР за микро и наносистемске технологије од 2014.

  • Носилац сертификата ISO 9001.

Контакт

centar za mikoelektronske tehnologije

Центар за микроелектронске технологије

Адреса:
Његошева 12
11000 Београд
Лабораторије:
Студенски трг 16/III, Београд
Телефон: +381 11 2638 188
Фаx:+381 11 2182 995
e-mail:
dana@nanosys.ihtm.bg.ac.rs