IHTM PLAVI
Научна установа

Институт за хемију, технологију и металургију
Институт од националног значаја

grb BUУниверзитет у Београду

Др Милче М. Смиљанић

Научни сарадник
Заменик руководиоца лабораторије за МЕМС

 

 

 

 

Адреса:

Центар за Микроелектронске технологије, Институт за Хемију, Технологију и Металургију,
Универзитет у Београду, Његошева 12, 11000 Београд, Србија Телефон: +381 11 2630 757
Fax: +381 11 182 995
E-mail: smilce@nanosys.ihtm.bg.ac.rs

Кратка биографија:

Милче М. Смиљанић је рођена 1978. године у Београду. Дипломирала, магистрирала и докторирала је на Електротехничком факултету, Универзитет у Београду, смер за Оптоелектронику и ласерску технику. У Центру за Микроелектронске технологије, Институт за Хемију, Технологију и Металургију у Београду, има звање научног сарадника. У МЕМС лабораторији Центра за Микроелектронске технологије је процесни инжењер за процесе фотолитографије, влажног хемијског нагризања силицијума (TMAH, KOH), влажног хемијског нагризања Pyrex стакла и анодног бондовања. Њене области научног истраживања и технолошког развоја су: микромашинство силицијума и стакла за израду различитих врста сензора и актуатора, пиезоотпорни сензори притиска, микрогредице са пиезоотпорним излазом, златне микрогредице за мерење магнетног поља, силицијумске фотодиоде, микрореактори.

Професионална достигнућа:

Дизајн и израда комерцијалних сензора притиска SP-6 и SP-12 који су монтирани у неколико постројења Електропривреде Србије (ЕПС), водовода и Србијагаса.
Израда прототипа златнe микрогредицe за мерење магнетног поља.
Дизајн и израда прототипа високотемпературног сензора за ниже притиске SP-11.
Дизајн и израда функционалних модела актуатора на бази промене фазе.

Најзначајнији  пројекти:

Интернационални:
2005 – 2008 Micro-nano cantilever based detection of small electromagnetic forces, SCOPES IB 7320-110923, Swiss National Science Foundation.
2008 – 2011 Reinforcement of Regional Microsystems and Nanosystems Centre REGMINA, Proj. No. 205533, 7th Framework Programme, European Union.
2013 – 2015 Phase Change Actuator, Scientific Partner ACMIT, Austria.
2015 – CellFOS-Optofluidic Platform, Scientific Partner ACMIT, Austria.

Национални:
2003 – 2004 Микросистемске и наносистемске технологије за сензоре и оптоелектронику ИТ.1.04.0062.Б, Министарство за науку, технологију и развој Републике Србије.
2005 – 2007 Микро и наносистемске технологије, структуре и сензори ТР-6151Б, Министарство науке Републике Србије.
2008 – 2010 Микросистемске, наносистемске технологије и компоненте ТР-11027, Министарство за науку Републике Србије.
2011 – 2016 Микро, нано-системи и сензори за примену у електропривреди, процесној индустрији и заштити животне средине – МиНаСиС ТР 32008, Министарство за просвету и науку Републике Србије.

Изабране публикације:

Радови у часописима:

  1. M. M. Smiljanić, V. Jović, Ž. Lazić, “Maskless convex corner compensation technique on a (100) silicon substrate in a 25 wt % TMAH water solution”, Journal of Micromechanic and Microengineering Vol. 22, No. 11, 2012  DOI:10.1088/0960-1317/22/11/115011
  2. M. M. Smiljanić, B. Radjenović, M. Radmilović-Radjenović, Ž. Lazić, V. Jović, “Simulation and experimental study of maskless convex corner compensation in TMAH water solution”, Journal of Micromechanic and Microengineering Vol. 24, No. 11, 2014 doi:10.1088/0960-1317/24/11/115003
  3. V. B. Jović, M. J. Matić, B. M. Vukelić, M. S. Starčević, M. M. Smiljanić, J. S. Lamovec, M. D. Vorkapić, “Montaža čipova MEM silicijumskih piezorezistivnih senzora pritiska primenom različitih adheziva”, Hemijska industrija, vol. 65, br. 5, 2011, 497-505, DOI:10.2298/HEMIND110509044J 

Радови са конференција:

  1. Z. Đurić, M. M. Smiljanić, K. Radulović, Ž. Lazić, “Boron Redistribution During SOI Wafers Thermal Oxidation”, Proc. 25th Internat. Conf. on Microelectronics MIEL, Belgrade, 14-17 May 2006, vol. 1, pp. 333-336
  2. D. M. Todorović, B. Cretin, Y. Q. Song, M. M. Smiljanić, Ž. Lazić, K. Radulović, “Photothermal Vibration Spectra of Square Diaphragm with Boss for Low-Pressure Sensor”, Proc. 26th Internat. Conf. on Microelectronics MIEL 2008, Niš, Serbia, 11-14 May 2008, Vol. 2, pp. 325-328, ISBN 978-1-4244-1882-4
  3. Z. Đurić, I. Jokić, M. Frantlović, D. Ranđelović, D. Vasiljevic-Radović, M. M. Smiljanić, Ž. Lazić, “Fabrication and Characterization of AFM Golden Microcantilevers and Measurement of Small Electromagnetic Forces”, Proc. 26th Internat. Conf. on Microelectronics MIEL 2008, Niš, Serbia , 11-14 May 2008, Vol. 2, pp. 363-366, ISBN 978-1-4244-1882-4
  4. Z. Đinović, M. Tomić, L. Manojlović, Ž. Lazić, M. M. Smiljanić, “Non-contact Measurement of Thickness Uniformity of Chemically Etched Si Membranes by Fiber-Optic Low-Coherence Interferometry”, Proc. 26th Internat. Conf. on Microelectronics MIEL 2008, Niš, Serbia , 11-14 May 2008, , Vol. 2, pp. 321-324, ISBN 978-1-4244-1882-4
  5. V. Jović, J. Lamovec, M. M. Smiljanić, M. Popović, “Micromachining by Maskless Wet Anisotropic Chemical Etching {hkl} Structures on {100} Oriented Silicon”, Proc. 27th Internat. Conf. on Microelectronics MIEL 2010, Niš, Serbia , 16-19 May 2010, ISBN 978-1-4244-7199-7
  6. V. Jović, M. M. Smiljanić, J. Lamovec,  M. Popović, “Microfabraication of Maskless-Mask Wet Anisotropic Etching for Realization of Multilevel Structures in {100} Oriented Si”, Proc. 28th Internat. Conf. on Microelectronics MIEL 2012, Niš, Serbia , 13-16 May 2012, ISBN 978-1-4673-0235-7
  7. Ž. Lazić, M. M. Smiljanić, M. Rašljić, I. Mladenović, K. Radulović, M. Sarajlić, D. Vasiljević-Radović, "Wet isotropic chemical etching of Pyrex glass with masking layers Cr/Au", Proc. 1st Conf. IcETRAN, Vrnjačka Banja, June 2 – 5, 2014, pp. MOI1.1.1-4, ISBN 978-86-80509-70-9, Best Section Paper Award: MO
  8. Ž. Lazić, M. M. Smiljanić, M. Rašljić, "Glass Micromachining with Sputtered Silicon as a Masking Layer", Proc. 29th International Conference on Microelectronics MIEL 2014, Niš, Serbia, May 12-15, pp. 175-178, ISBN 978-1-4799-5295-3
  9. Ž. Lazić, M. M. Smiljanić, K. Radulović, M. Rašljić, K. Cvetanović, D. Vasiljević-Radović, Z. Djinović, C. Kment, "Design and Fabrication of the Silicon Moving Plate with Cantilever Beams for Paraffin Based Actuator", Proceedings of 2nd International Conference on Electrical, Electronic and Computing Engineering, IcETRAN 2015, Silver Lake, Serbia, pp. MOI2.1.1-6, June 8 – 11, 2015, ISBN 978-86-80509-71-6
  10. Z. Jakšić, M. M. Smiljanić, Ž. Lazić, K. Radulović, M. Dalarsson, D. Tanasković, M. Obradov, O. Jakšić, "Aluminum-based fishnets with complex aperture shapes", Proceedings of 2nd International Conference on Electrical, Electronic and Computing Engineering, IcETRAN 2015, Silver Lake, Serbia, pp. MOI3.2-1-5, June 8 – 11, 2015, ISBN 978-86-80509-71-6