IHTM PLAVI
Научна установа

Институт за хемију, технологију и металургију
Институт од националног значаја

grb BUУниверзитет у Београду

Жарко Лазић

Руководилац лабораторије за МЕМС

 

 

 

 

Адреса:

Центар за Микроелектронске технологије, Институт за Хемију, Технологију и Металургију,
Универзитет у Београду, Његошева 12, 11000 Београд, Србија Телефон: +381 11 2630 757
Fax: +381 11 182 995
E-mail: zlazic@nanosys.ihtm.bg.ac.rs

Кратка биографија:

Жарко Лазић је рођен 1959. године у Београду, Србија. Дипломирао је 1984. године на Електротехничком факултету у Београду, на смеру Техничка физика. Ангажован је у области планарне технологије и полупроводничких сензора, у развоју и методама карактеризације полупроводничких направа. Објавио је преко 40 радова, од тога 5 у међународним часописима. Ради као руководилац лабораторије за планарну технологију.

Професионална достигнућа:

Дизајн и израда комерцијалних сензора притиска SP-6 и SP-12 који су монтирани у неколико постројења Електропривреде Србије (ЕПС), водовода и Србијагаса.
Дизајн и израда функционалних модела актуатора на бази промене фазе.

Најзначајнији пројекти:

Међународни:
2005 – 2008 Micro-nano cantilever based detection of small electromagnetic forces, SCOPES IB 7320-110923, Swiss National Science Foundation.
2008 – 2011 Reinforcement of Regional Microsystems and Nanosystems Centre REGMINA, Proj. No. 205533, 7th Framework Programme, European Union.
2013 – 2015 Phase Change Actuator, Scientific Partner ACMIT, Austria.
2015 – CellFOS-Optofluidic Platform, Scientific Partner ACMIT, Austria.

Национални:
2003 – 2004 Микросистемске и наносистемске технологије за сензоре и оптоелектронику ИТ.1.04.0062.Б, Министарство за науку, технологију и развој Републике Србије.
2005 – 2007 Микро и наносистемске технологије, структуре и сензори ТР-6151Б, Министарство науке Републике Србије.
2008 – 2010 Микросистемске, наносистемске технологије и компоненте ТР-11027, Министарство за науку Републике Србије.
2011 – 2016 Микро, нано-системи и сензори за примену у електропривреди, процесној индустрији и заштити животне средине – МиНаСиС ТР 32008, Министарство за просвету и науку Републике Србије.

Изабране публикације:

Радови у часописима:

  1. M. M. Smiljanić, V. Jović, Ž. Lazić, “Maskless convex corner compensation technique on a (100) silicon substrate in a 25 wt % TMAH water solution”, Journal of Micromechanic and Microengineering Vol. 22, No. 11, 2012  DOI:10.1088/0960-1317/22/11/115011
  2. M. M. Smiljanić, B. Radjenović, M. Radmilović-Radjenović, Ž. Lazić, V. Jović, “Simulation and experimental study of maskless convex corner compensation in TMAH water solution”, Journal of Micromechanic and Microengineering Vol. 24, No. 11, 2014 doi:10.1088/0960-1317/24/11/115003

Радови са конференција:

  1. Z. Đurić, M. M. Smiljanić, K. Radulović, Ž. Lazić, “Boron Redistribution During SOI Wafers Thermal Oxidation”, Proc. 25th Internat. Conf. on Microelectronics MIEL, Belgrade, 14-17 May 2006, vol. 1, pp. 333-336
  2. D. M. Todorović, B. Cretin, Y. Q. Song, M. M. Smiljanić, Ž. Lazić, K. Radulović, “Photothermal Vibration Spectra of Square Diaphragm with Boss for Low-Pressure Sensor”, Proc. 26th Internat. Conf. on Microelectronics MIEL 2008, Niš, Serbia, 11-14 May 2008, Vol. 2, pp. 325-328, ISBN 978-1-4244-1882-4
  3. Z. Đurić, I. Jokić, M. Frantlović, D. Ranđelović, D. Vasiljevic-Radović, M. M. Smiljanić, Ž. Lazić, “Fabrication and Characterization of AFM Golden Microcantilevers and Measurement of Small Electromagnetic Forces”, Proc. 26th Internat. Conf. on Microelectronics MIEL 2008, Niš, Serbia , 11-14 May 2008, Vol. 2, pp. 363-366, ISBN 978-1-4244-1882-4
  4. Z. Đinović, M. Tomić, L. Manojlović, Ž. Lazić, M. M. Smiljanić, “Non-contact Measurement of Thickness Uniformity of Chemically Etched Si Membranes by Fiber-Optic Low-Coherence Interferometry”, Proc. 26th Internat. Conf. on Microelectronics MIEL 2008, Niš, Serbia , 11-14 May 2008, , Vol. 2, pp. 321-324, ISBN 978-1-4244-1882-4
  5. Ž. Lazić, M. M. Smiljanić, M. Rašljić, I. Mladenović, K. Radulović, M. Sarajlić, D. Vasiljević-Radović, "Wet isotropic chemical etching of Pyrex glass with masking layers Cr/Au", Proc. 1st Conf. IcETRAN, Vrnjačka Banja, June 2 – 5, 2014, pp. MOI1.1.1-4, ISBN 978-86-80509-70-9, Best Section Paper Award: MO
  6. Ž. Lazić, M. M. Smiljanić, M. Rašljić, "Glass Micromachining with Sputtered Silicon as a Masking Layer", Proc. 29th International Conference on Microelectronics MIEL 2014, Niš, Serbia, May 12-15, pp. 175-178, ISBN 978-1-4799-5295-3