IHTM PLAVI
Универзитет у Београду
Институт за хемију, технологију и металургију
Институт од националног значаја за Републику Србију

grb BUУниверзитет у Београду

Др Милче М. Смиљанић

Виши научни сарадник
Заменик руководиоца лабораторије за МЕМС

 

 

 

 

Адреса:

Центар за Микроелектронске технологије, Институт за Хемију, Технологију и Металургију,
Универзитет у Београду, Његошева 12, 11000 Београд, Србија

Телефон: +381 11 2630 757
Fax: +381 11 182 995
E-mail: smilce@nanosys.ihtm.bg.ac.rs

Кратка биографија:

Милче М. Смиљанић је рођена 1978. године у Београду. Дипломирала, магистрирала и докторирала је на Електротехничком факултету, Универзитет у Београду, смер за Оптоелектронику и ласерску технику. У Центру за Микроелектронске технологије, Институт за Хемију, Технологију и Металургију у Београду, има звање вишег научног сарадника. У МЕМС лабораторији Центра за Микроелектронске технологије је процесни инжењер за процесе фотолитографије, влажног хемијског нагризања силицијума (TMAH, KOH), влажног хемијског нагризања Pyrex стакла и анодног бондовања. Њене области научног истраживања и технолошког развоја су: микромашинство силицијума и стакла за израду различитих врста сензора и актуатора, пиезоотпорни сензори притиска, микрогредице са пиезоотпорним излазом, златне микрогредице за мерење магнетног поља, силицијумске фотодиоде, микрофлуидне платформе, графенски сензори.

Професионална достигнућа:

  • Дизајн и израда комерцијалних сензора притиска SP-6 и SP-12 који су монтирани у неколико постројења Електропривреде Србије (ЕПС), водовода и Србијагаса.
  • Израда прототипа златнe микрогредицe за мерење магнетног поља.
  • Дизајн и израда прототипа високотемпературног сензора за ниже притиске SP-11.
  • Дизајн и израда функционалних модела актуатора на бази промене фазе.
  • Дизајн и израда функционалних модела различитих  микрофлуидних платформи (CellFOS, микрореактор за синтезу TiO2 наночестица и комплексна мрежа микрофлудних микроканала).

Најзначајнији  пројекти:

Интернационални:
2005 – 2008 Micro-nano cantilever based detection of small electromagnetic forces, SCOPES IB 7320-110923, Swiss National Science Foundation.
2008 – 2011 Reinforcement of Regional Microsystems and Nanosystems Centre REGMINA, Proj. No. 205533, 7th Framework Programme, European Union.
2013 – 2015 Phase Change Actuator, Scientific Partner ACMIT, Austria.
2015 – CellFOS-Optofluidic Platform, Scientific Partner ACMIT, Austria.

Национални:

2003 – 2004  Микросистемске и наносистемске технологије за сензоре и оптоелектронику ИТ.1.04.0062.Б, Министарство за науку, технологију и развој Републике Србије.
2005 – 2007  Микро и наносистемске технологије, структуре и сензори ТР-6151Б, Министарство науке Републике Србије.
2008 – 2010  Микросистемске, наносистемске технологије и компоненте ТР-11027, Министарство за науку Републике Србије.
2011 – 2019  Микро, нано-системи и сензори за примену у електропривреди, процесној индустрији и заштити животне средине – МиНаСиС ТР 32008, Министарство просветe, наукe и технолошког развоја Републике Србије.
2018. Израда МЕМС структуре за графенски микрофон МГМ, Dirigent Acoustics и Фонд за иновациону делатност, Република Србија, Иновациони ваучер број 90 30.01.2018
2018. Наношење графена за графенски микрофон ГММ, Dirigent Acoustics и Фонд за иновациону делатност, Република Србија, Иновациони ваучер број 202 10.10.2018.
2020. Микрофлуидни уређаји за примену фоторедокс катализе, Доказ концепта, Фонд за иновациону делатност, Република Србија, број 5183.

Изабране публикације:

Радови у часописима:

  1. M. Smiljanić, V. Jović, Ž. Lazić, “Maskless convex corner compensation technique on a (100) silicon substrate in a 25 wt % TMAH water solution”, Journal of Micromechanic and Microengineering Vol. 22, 2012, 115011
  2. M. Smiljanić, B. Radjenović, M. Radmilović-Radjenović, Ž. Lazić, V. Jović, “Simulation and experimental study of maskless convex corner compensation in TMAH water solution”, Journal of Micromechanic and Microengineering Vol. 24, 2014, 115003
  3. Frantlović, I. Jokić, Ž. Lazić, M.M. Smiljanić, M. Obradov, B. Vukelić, Z. Jakšić and S. Stanković, "A method enabling simultaneous pressure and temperature measurement using a single piezoresistive MEMS pressure sensor", Measurement Science and Technology 27, 2016, 125101
  4. Jakšić, M. M. Smiljanić, D. Vasiljević-Radović, M. Obradov, K. Radulović, D. Tanasković, P. M. Krstajić, "Field localization control in aperture-based plasmonics by Boolean superposition of primitive forms at deep subwavelength", Opt Quant Electron 48, 2016
  5. M. Smiljanić, Ž. Lazić, B. Radjenović, M. Radmilović-Radjenović, V. Jović, "Evolution of Si Crystallographic Planes-Etching of Square and Circle Patterns in 25 wt % TMAH", Micromachines, 10, 102, 2019
  6. Sarajlić, M. Frantlović, M.M. Smiljanić, M.Rašljić, K. Cvetanović-Zobenica, Ž. Lazić, D. Vasiljević-Radović, "Thin-film four-resistor temperature sensor for measurements in air", Measurement Science and Technology 30, 2019, 115102
  7. M. Smiljanić, Ž. Lazić, V. Jović, B. Radjenović, M. Radmilović-Radjenović, "Etching of Uncompensated Convex Corners with Sides along <n10> and <100> in 25 wt% TMAH at 80 ℃", Micromachines, 11, 253, 2020
  8. Rašljić Rafajilović, K. Radulović, M.M. Smiljanić, Ž. Lazić, Z. Jakšić, D. Stanisavljev, D. Vasiljević Radović, "Monolithically Integrated Diffused Silicon Two-Zone Heaters for Silicon-Pyrex Glass Microreactors for Production of Nanoparticles: Heat Exchange Aspects ", Micromachines, 11, 818, 2020
  9. Vasić, U. Ralević, K. Cvetanović Zobenica, M.M. Smiljanić, Radoš Gajić, Marko Spasenović, Sten Vollebregt, "Low-friction, wear-resistant, and electrically homogeneous multilayer graphene grown by chemical vapor deposition on molybdenum", Applied Surface Science, 509, 2020, 144792
  10. V. Bošković, M. Sarajlić, M. Frantlović, M. M Smiljanić, D.V. Randjelović, Katarina Cvetanović Zobenica , D. Vasiljević Radović, "Aluminum-based self-powered hyper-fast miniaturized sensor for breath humidity detection", Sensors and Actuators B, 321, 2020, 128635
  11. Andrić, T. Tomašević-Ilić, M. V. Bošković, M. Sarajlić, D. Vasiljević-Radović, M. M Smiljanić, M. Spasenović, "Ultrafast humidity sensor based on liquid phase exfoliated graphene", Nanotechnology, 32, 2021, 025505
  12. M. Smiljanić, Ž. Lazić, M. Rašljić Rafajilović, K. Cvetanović Zobenica, E. Milinković, A. Filipović, "Silicon Y-bifurcated microchannels etched in 25 wt % TMAH water solution", Journal of Microengineering and Micromechanics, 31, 2021, 017001
  13. M. Smiljanić, B. Radjenović, Ž. Lazić, M. Radmilović-Radjenović, Rašljić Rafajilović, K. Cvetanović Zobenica, E. Milinković, A. Filipović, "Controllable arrangement of integrated obstacles in silicon microchannels etched in 25 wt % TMAH", Hemijska industrija, vol. 75(1), 2021, 15-24

Радови са конференција:

1. Z. Đurić, M. M. Smiljanić, K. Radulović, Ž. Lazić, “Boron Redistribution During SOI Wafers Thermal Oxidation”, Proc. 25th Internat. Conf. on Microelectronics MIEL, Belgrade, 14-17 May 2006, vol. 1, pp. 333-336
2. D. M. Todorović, B. Cretin, Y. Q. Song, M. M. Smiljanić, Ž. Lazić, K. Radulović, “Photothermal Vibration Spectra of Square Diaphragm with Boss for Low-Pressure Sensor”, Proc. 26th Internat. Conf. on Microelectronics MIEL 2008, Niš, Serbia, 11-14 May 2008, Vol. 2, pp. 325-328
3. Z. Đurić, I. Jokić, M. Frantlović, D. Ranđelović, D. Vasiljevic-Radović, M. M. Smiljanić, Ž. Lazić, “Fabrication and Characterization of AFM Golden Microcantilevers and Measurement of Small Electromagnetic Forces”, Proc. 26th Internat. Conf. on Microelectronics MIEL 2008, Niš, Serbia , 11-14 May 2008, Vol. 2, pp. 363-366
4. Z. Đinović, M. Tomić, L. Manojlović, Ž. Lazić, M. M. Smiljanić, “Non-contact Measurement of Thickness Uniformity of Chemically Etched Si Membranes by Fiber-Optic Low-Coherence Interferometry”, Proc. 26th Internat. Conf. on Microelectronics MIEL 2008, Niš, Serbia, 11-14 May 2008, Vol. 2, pp. 321-324
5. V. Jović, J. Lamovec, M. M. Smiljanić, M. Popović, “Micromachining by Maskless Wet Anisotropic Chemical Etching Oriented Silicon”, Proc. 27th Internat. Conf. on Microelectronics MIEL 2010, Niš, Serbia , 16-19 May 2010
6. V. Jović, M. M. Smiljanić, J. Lamovec, M. Popović, “Microfabrication of Maskless-Mask Wet Anisotropic Etching for Realization of Multilevel Structures in Oriented Si”, Proc. 28th Internat. Conf. on Microelectronics MIEL 2012, Niš, Serbia , 13-16 May 2012
7. Ž. Lazić, M. M. Smiljanić, M. Rašljić, I. Mladenović, K. Radulović, M. Sarajlić, D. Vasiljević-Radović, "Wet isotropic chemical etching of Pyrex glass with masking layers Cr/Au", Proc. 1st Conf. IcETRAN, Vrnjačka Banja, June 2 – 5, 2014, pp. MOI1.1.1-4
8. Ž. Lazić, M. M. Smiljanić, M. Rašljić, "Glass Micromachining with Sputtered Silicon as a Masking Layer", Proc. 29th International Conference on Microelectronics MIEL 2014, Niš, Serbia, May 12-15, 2014, pp. 175-178
9. Ž. Lazić, M. M. Smiljanić, K. Radulović, M. Rašljić, K. Cvetanović, D. Vasiljević-Radović, Z. Djinović, C. Kment, "Design and Fabrication of the Silicon Moving Plate with Cantilever Beams for Paraffin Based Actuator", Proceedings of 2nd International Conference on Electrical, Electronic and Computing Engineering, IcETRAN 2015, Silver Lake, Serbia, June 8 – 11, 2015, pp. MOI2.1.1-6
10. M. Rašljić, I. Gadjanski, M.M Smiljanić, Novica Z. Janković, Ž. Lazić, K. Cvetanović Zobenica, "Microfabrication of bifurcated microchannels with PDMS and ABS", Proceedings of 4nd International Conference on Electrical, Electronic and Computing Engineering, IcETRAN 2017, Kladovo, Serbia, June 5 – 8, 2017, pp. MOI2.1
11. P. Poljak, M. Frantlović, M.M. Smiljanić, Ž. Lazić, I. Jokić, D. Randjelović, Z. Mitrović, "A Measurement Setup Enabling Automatic Characterization of Silicon Piezoresistive MEMS Pressure Sensors", CAS 2017 Proceedings 2017 International semiconductor conference, Sinaia, Romania 11.-14.10.2017, pp.237-240