

Двострани поравњавач
EV Group – E. Thallner, GmbH
Aligner EVG 6200276
Уређај за двострано уклапање ликова на фотомаски и на полупроводничкој плочици и осветљавање фотоосетљивог материјала ултравиоличастом светлошћу (350 – 450 nm).
Милена Рашлић Рафајиловић
milena@nanosys.ihtm.bg.ac.rs
Studentski trg 12-16
milena@nanosys.ihtm.bg.ac.rs
Studentski trg 12-16

Уређај за ласерску израду маски и фотолитографију.
Microtech s.r.l.
LaserWriter LW - 405
Уређај се користи за израду маски и фотолитографију – директно исцртавање.
Милче Смиљанић
smilce@nanosys.ihtm.bg.ac.rs
Studentski trg 12-16
smilce@nanosys.ihtm.bg.ac.rs
Studentski trg 12-16

Бондер са поравњавачем
AML-Applied Microengineering Ltd
18X-264VAC-47-63HZ-1.8W
AML-AWB 04
Kapitalna oprema
-„in-situ“ поравњавање (алигнмент) и подешавање ликова на супстратима (x, y, z и θ),
-тачност до 2 μm,
-полуаутоматска PC контрола и аквизиција података,
-примена напона и до 2.5 kV,
-температуре бондирања и до 560 °C,
-примењена сила и до 15000 N,
-саморегулишући сув систем за вакуумирање, могућ вакуум у радној комори 10⁻⁶ mbar,
-брзо хлађење успостављањем протока азота, итд.
Жарко Лазић
zlazic@nanosys.ihtm.bg.ac.rs
Studentski trg 12-16
zlazic@nanosys.ihtm.bg.ac.rs
Studentski trg 12-16

Микроскоп са скенирајућом сондом – SPM и AFM.TM
TM Microscopes-Bruker, USA-GER AutoProbe CP-Research
Kapitalna oprema
Намењен за испитивања морфологије површине методом скенирајуће тунелирајуће микроскопије и микроскопије атомских сила.
Опције: нанолитографија, наноиндентација.
Уређај има могућност испитивања узорака у течностима.
Максималне димензије узорка: 50 mm x 50 mm x 20 mm.
Дана Васиљевић-Радовић
dana@nanosys.ihtm.bg.ac.rs
Studentski trg 12-16
dana@nanosys.ihtm.bg.ac.rs
Studentski trg 12-16

Микроскоп са скенирајућом сондом – AFM.
NT-MDT, Russia
NTEGRA Prima
Kapitalna oprema
Намењен за испитивања морфологије површине методом микроскопије атомских сила.
Опције: нанолитографија, наноиндентација, одређивање магнетних и електричних особина узорка.
Уређај има могућност испитивања узорака у контролисаној атмосфери, вакууму и у течностима.
Максималне димензије узорка: пречник – до 40 mm, висина – до 15 mm.
Данијела Ранђеловић danijela@nanosys.ihtm.bg.ac.rs
Studentski trg 12-16
Studentski trg 12-16

FT-IR Спектрофотометар
Thermo Scientific
FT-IR 6700 Thermo Scientific Nicolet
Kapitalna oprema
FT-IR 6700 је инфрацрвени спектрофотометар са Фуријеовом трансформацијом. Има могућност мерења трансмисије и ATR мерења. Таласне дужине које покрива основни уређај припадају блиској и средњој инфрацрвеној области – од 350 cm⁻¹ до 13.500 cm⁻¹ (740 nm до 28,6 μm).
Катарина Радуловић
kacar@nanosys.ihtm.bg.ac.rs
Studentski trg 12-16
kacar@nanosys.ihtm.bg.ac.rs
Studentski trg 12-16

FT-IR Микроскоп
Thermo Scientific
iN10 Microscope
iN10 FT-IR микроскоп је иновативни инструмент са могућношћу мерења малих узорака (свега неколико микрометара) и има могућност мерења у трансмисији, рефлексији, као и ATR мерења. Помоћу CCD камере добијамо слику у видном делу, а IR детектор омогућава добијање IR спектра са површине узорка (мин. 50 μm x 50 μm). У конфигурацију је укључен HgCdTe детектор хлађен течним азотом.
Катарина Радуловић
kacar@nanosys.ihtm.bg.ac.rs
Studentski trg 12-16
kacar@nanosys.ihtm.bg.ac.rs
Studentski trg 12-16

Анализатор спектра
Tektronix RSA3308B
Анализа спектра електричног сигнала у реалном времену (у опсегу ширине до 15 MHz)
Опсег учестаности: DC до 8 GHz, Frequency Mask Trigger, DANL: -150 dBm/Hz (@1 GHz)
Улазна импеданса: 50 Ω, Максимално дозвољени ниво сигнала на улазу: +30 dBm
Милош Франтловић
frant@nanosys.ihtm.bg.ac.rs
Studentski trg 12-16
frant@nanosys.ihtm.bg.ac.rs
Studentski trg 12-16

„Lock-In“ појачавач
Signal Recovery 7280 DSP
Инструмент који омогућава издвајање сигнала у присуству великог шума и мерење чистих сигнала на великом опсегу фреквенција и амплитуда.
Милош Франтловић
frant@nanosys.ihtm.bg.ac.rs
Studentski trg 12-16
frant@nanosys.ihtm.bg.ac.rs
Studentski trg 12-16

Програмабилни двоканални електронски калибратор притиска
Laurell Technologies
Spin Processor WS-650Mz-23NPP
Уређај за задавање референтног притиска гаса ради еталонирања мерних инструмената, мерна несигурност 0,01%, опсези 0–2 bar, 0–16 bar и 0–100 bar.
Милош Франтловић
frant@nanosys.ihtm.bg.ac.rs
Studentski trg 12-16
frant@nanosys.ihtm.bg.ac.rs
Studentski trg 12-16

Спинер
Laurel Technologies
Spin Processor WS-650Mz-23NPP
Уређај за наношење танких слојева фоторезиста и других материјала у течном стању.
Милена Рашлић Рафајиловић
milena@nanosys.ihtm.bg.ac.rs
Studentski trg 12-16
milena@nanosys.ihtm.bg.ac.rs
Studentski trg 12-16

„Glove box“ систем
Mbraun
Омогућава рад у атмосфери аргона са контролом присуства влаге и кисеоника.
Катарина Цветановић
katarina@nanosys.ihtm.bg.ac.rs
Studentski trg 12-16
katarina@nanosys.ihtm.bg.ac.rs
Studentski trg 12-16

Планетарни млин
FRITSCH
Mill PULVERISETTE 7 premium line
Планетарни млин са посудом запремине до 80 мл. Намењен је за фино млевење мањих количина узорака, за млевење различитих типова узорака: фармацеутских, металуршких, минералошких, хемијских, биолошких узорака, као и узорака земљишта. Максимална финоћа млевења је 0,1 µm.
Јелена Стевановић
jelena@nanosys.ihtm.bg.ac.rs
Studentski trg 12-16
jelena@nanosys.ihtm.bg.ac.rs
Studentski trg 12-16

Уређај за заваривање
OREKLION - Welding, Ltd. PLASMAFIX 50S
Машина за заваривање високе прецизности са могућношћу варијације интензитета, користи микроплазму за заваривање танких мембрана трансмитера притиска. Могућност финог подешавања излазне струје од 0 до 50 А.
Богдан Поповић
bogdanp@nanosys.ihtm.bg.ac.rs
Studentski trg 12-16
bogdanp@nanosys.ihtm.bg.ac.rs
Studentski trg 12-16

Уређај за катодно распршивање
Sputtering System MRC 822
Спатеровање танких слојева RF и DC методом.
Милија Сарајлић
milijas@nanosys.ihtm.bg.ac.rs
Studentski trg 12-16
milijas@nanosys.ihtm.bg.ac.rs
Studentski trg 12-16

Пећи за дифузију са 6 грејних елемената, за планарне технологије на Si.
Helmut Seier, GmbH
Labor-Centurion 666
Процеси у појединим елементима: дифузија примеса фосфора, дифузија примеса бора (плитка и дубока у одвојеним цевима), влажна или сувa оксидација у струји кисеоника у цеви за Si n-типа или у цеви за Si p-типа, одгревање дифундованих слојева. Сваких 6 грејача је једнообразно: температура од 400 до 1400 °C, корисни пречник је 135 mm, зона загревања је 200 mm са тачношћу 0,5 °C.
Катарина Цветановић
katarina@nanosys.ihtm.bg.ac.rs
Studentski trg 12-16
katarina@nanosys.ihtm.bg.ac.rs
Studentski trg 12-16

Уређај за осветљавање филмова и фотоплоча.
Mivatec Hard- und Software, GmbH
MIVA 2516 T3
Уређај са ксенонском лампом као извором светлости, помоћу кога се директно преносе пројектовани ликови (задати у одговарајућем PC формату) на филм или фотоплочу.
Жарко Лазић
zlazic@nanosys.ihtm.bg.ac.rs
Studentski trg 12-16
zlazic@nanosys.ihtm.bg.ac.rs
Studentski trg 12-16

Аутоматски пробер
KARL SUSS
AP4
Намењен за аутоматско и мануелно мерење и карактеризацију полупроводничких компонената пречника до 100 mm, истовремено мерење у 42 тачке што омогућава мерење сложенијих компонената – интегрисаних кола. Опреmlјен стерео микроскопом са могућношћу зумирања, аутоматско кретање у x и y правцу са минималним кораком од 10 μm.
Жарко Лазић
zlazic@nanosys.ihtm.bg.ac.rs
Studentski trg 12-16
zlazic@nanosys.ihtm.bg.ac.rs
Studentski trg 12-16

Профилометар
Taylor-Hobson
Профилометар за мерење дебљине танких филмова (до 1 nm) као и за мерење храпавости у области микроелектронске индустрије и металуршких истраживања. Опремљен електронским појачавачем и аутоматским пишачем за регистрацију кретања мерне игле, као и монокуларним микроскопом са увећањем до 10x. Подешавање силе мерне игле у опсегу од 10 до 300 μN.
Жарко Лазић
zlazic@nanosys.ihtm.bg.ac.rs
Studentski trg 12-16
zlazic@nanosys.ihtm.bg.ac.rs
Studentski trg 12-16

Бондер
Kulike and Soffa
Бондовање Al жице на полупроводничке компоненте
Стефан Илић stefan.ilic@nanosys.ihtm.bg.ac.rs
Studentski trg 12-16
Studentski trg 12-16