Руководиоци: Жарко Лазић, Милче М. Смиљанић
Група се бави конципирањем, пројектовањем, израдом и тестирањем структура, компоненти, направа и система. То укључује осмишљавање, пројектовање и израду чипова МЕМС и НЕМС сензора и актуатора, као и развој специфичних поступака планарне технологије и микромашинства.
Тематика
- МЕМС сензори
- МЕМС актуатори
- Пиезоотпорни сензори притиска:
- МЕМС чип сензора ниског притиска за повишене радне температуре до 3000С
- МЕМС чип сензора притиска са уграђеном блокадом преоптерећења - Вишенаменски МЕМС сензори на бази Зебековог ефекта
- Инерцијални сензори
- МЕМС микрореактори
- Микроактуатори
- силицијумске PIN фотодиоде
