Клима комора – ЛИБ ТХ-50Б

Комора је намењена контроли амбијенталних параметара (температуре, влаге и гасног амбијента) за потребе тестирања гасних сензора. Капацитета 30 литара, контролише температуру у опсегу између -40 и +150 степени целзијуса, са флуктуацијама од 0.5 степена. Контрола влаге је између 20% и 98%, са униформношћу од 2.5%. Уређај се контролише преко екрана на додир интегрисаног са предње стране.

Опрема је набављена средствима Фонда за науку, програм ПРОМИС, пројекат Грамулсен (6057070).

Апаратура за мешање гасова

Апаратура за мешање гасова за потребе тестирања гасних сензора у клима коморама. Могу се користити коморе изађене по мери, које имају мање запремине, или ЛИБ ТХ-50Б. Упоредо су успостављене две апаратуре за контролу концентрације циљаног гаса. Апаратура која се ослања на стаклене ротаметре има могућност контроле концентрација између 0% и 100% са резолуцијом ~1%. Апаратура која се ослања на дигиталне масене контролере протока произвођача Аликат има могућност прецизне контроле коцентрације од 0 до 10,000 ппм (делова у милион).

Опрема је набављена средствима Фонда за науку, програм ПРОМИС, пројекат Грамулсен (6057070) и средствима Министарства науке, просвете и технолошког развоја.

Laser writer - LW405 (Microtech s.r.l.)

Систем LaserWriter system фирме MICROTECH је намењен дефинисању планарних геометрија на фотолитографским маскама и директно на супстратима, као и за дијагностику површина. Ради са резолуцијама до 0.8 μm и заснован је на галијум нитридном ласеру. Систем трансформише ласерски сноп у контролисану алатку за директно исписивање фотолитографских маски и за in situ процесирање планарних супстрата (нпр. Si, GaAs, InP, микроталасни/криогени/биолошки супстрати итд). На тај начин омогућује израду полупроводничких направа субмикрометарске резолуције. Погодан је и за израду фотолитографских маски за малосеријску производњу, као и за израду експерименталних и прототипских микрочипова. Опрема набављена средствима ЕУ.

EVG620 Double Side Mask Aligner за једнострану или двострану фотолитографију високе резолуције

Уређај је намењен за једнострану или двострану фотолитографију високе резолуције која се користи у технологији интегрисаних кола. Конкретно, уређај се користи за веома прецизно поравнавање ликова на стакленој фотолитографској масци са ликовима на супстрату (стакло, силицијум или неки други материјал) са прецизношћу бољом од 1 μm. На тај начин, ликови са фолитографске маске се преносе на фотоосетљиву емулзију на супстрату осветљавањем UV лампом чија је таласна дужина 350-450 nm. Уређај користи два микроскопа са по два објектива са горње и доње стране супстрата за подешавање ликова. Комплетан уређај је опремљен вакуумским и пнеуматским системом и у потпуности се контролише рачунаром. Рачунар је саставни део целог система са софтвером који је развијен специјално за овај уређај. Прецизност подешавања је 60 nm. Опрема набављена средствима Министарства науке.

Систем за спајање полупроводничких плочица (Wafer bonder) AML-AWB (AML)

Систем за бондовање (спајање) полупроводничких плочица AWB је вишенаменски систем који је у стању да врши следеће врсте заваривања полупроводничких плочица: адхезивно, анодно, директно (високо и нискотемпературно) еутектичко, глас фрит, лемљење и термокомпресионо бондовање. Уређај омогућује подешавање положаја плочица са тачношћу 2-5 микрометара. Могућа је контрола у реалном времену свих његових параметара као што су струја, напон, температура, притисак у комори, сила, раздвајање плочица итд. Притисци у комори могу се подесити од 10–6 mbar до 2 bar, напони до 2.5 kV, температуре до 560oC и силе до 15 kN. Могуће је бондовати плочице до 3", као и засебне микрочипове. Уређај је пре свега погодан за израду комплексних система за МЕМС. Опрема набављена средствима ЕУ.

Atomic Force Microscope (Thermomicroscopes AutoProbe CP)

Уређај из групе Scanning Probe Microscopes (SPM) намењен за испитивање микроскопских површина са високом резолуцијом. У ту сврху на располагању нам је више SPM техника: контактна AFM (C-AFM), бесконтактна AFM (NC-AFM), Intermittent-Contact AFM (IC-AFM),  Lateral Force Microscopy (LFM), Scanning Tunneling Microscopy (STM). Основне компоненте су CP-R probe head, постоље са мануелним XY и аутоматизованим Z померањем, пиезоелектрични скенер. Систем поседује и оптички микроскоп са фибероптичким светлосним извором.  Максималне димензије узорка: 50 mm x 50 mm x 20 mm; мерни опсег: (x, y) раван 90 µm x 90 µm; z оса до 7,5 µm.

Микроскоп са сканирајућом сондом (SPM) Ntegra (NT-MDT)

Ради се о мултифункционалној платформи за рад са микроскопијом са сканирајућом сондом укључујући између осталог atomic force микроскопију. Направа омогућује коришћење више од 40 мерних метода. Експерименти се могу радити на ваздуху, у вакууму, контролисаној атмосфери или у течности. Омогућује функцију на високим фреквенцијама (до 5MHz). Поред стандардне микроскопије атомских сила (АФМ), уређај омогућује разне друге модове рада и може се допунити додатним деловима који омогућују нпр. микроскопију у блиском оптичком пољу (СНОМ). Систем омогућује мерења почев од ултрависоких резолуција на атомско-молекуларном нивоу, све до узорака 200x200 µm за X, Y и 22 µm за Z) што је од користи за испитивање живих ткива и MEMS компоненти. Опрема набављена средствима ЕУ.

Инфрацрвени Фурије трансформ спектрофотометар FT-IR 6700 (Thermo Scientific Nicolet)

FT-IR 6700 је Фурије трансформ инфрацрвени спектрофотометар. Омогућује трансмисиона, рефлексиона и ATR мерења. На уређај се једноставно прикључују plug-in додаци којима Центар располаже. Радне таласне дужине покривају опсег од NIR до FIR, односно од 350 cm-1 до 13,500 cm-1 (740 nm до 28.6 μm). FT-IR 6700 садржи Ge и дијамантске сонде за ATR мерења (атенуирана тотална рефлексија) што је од важности за мерење малих узорака унутар микро/нанофабрикованих направа. Систем укључује специјализовани софтвер за спекрталну анализу и процесирање мерених података. Такође омогућује аутоматско уклањање утицаја атмосфере (вода, угљен диоксид), ATR и фотоакустичку методу.

Систем је набављен од средстава ЕУ преко ФП7 пројекта.

Инфрацрвени микроскоп и ФТИР спектрофотометар iN10 (Thermo Scientific Nicolet)

Инфрацрвени микроскоп и ФТИР спектрофотометар iN10 FT-IR омогућује мерење трансмисионих, рефлексионих и ATR спектара на узорцима микрометарских величина. Положај мерења бира се помоћу CCD камере и микроскопа у вудљивом спектру, па се онда ИЦ спектри мере са површина чија је минимална величина 50 μm x 50 μm. Систем укључује софтвер та семпловање слике и спектралну анализу. Опрема набављена средствима ЕУ.

Peć za difuziju/oksidaciju (Helmut Seier gmbh)

Пећ са хоризонталном 3-stack конфигурацијом која се користи у полупроводничкој индустрији и пилот линијама. У ЦМТ се користи за допирање силицијумских плочица (2 и 3”) допантима p-типа (bor) и n типа (фосфор), као и за формирање висококвалитетног термичког оксида (влажна и сува оксидација). Радна температура 800-1200oC, терморегулација зона са прецизношћу ±0.5oC; Ширина зоне око 20 cm. Садржи систем за увођење носећих гасова и систем за контролу влажности.

Систем за наношење ултратанких слојева катодним распршивањем (спатеровање) Perkin Elmer 2400

Уређај намењен првенствено за  полупроводничку индустрију. Дизајниран је тако да омогућава велику флексибилност у избору мета (катоде пречника 6”) и модова рада. ЦМТ располаже са већим бројем катода од различитих материјала: метала и њихових легура, полупроводника, оксида. Модови рада обухватају RF/DC спатеровање, RF нагризање и реактивно спатеровање. За постизање високог вакуума (испод 10-6 mbar) уређај је опремљен механичком и турбомолекуларном  пумпом фирме Leybold (Model TURBOVAC 361) са дигиталним контролером. Спатеровање уз ротацију носача на коме се налазе плочице (супстрати) омогућава истовремено процесирање већег боја супстрата (број зависи од њиховог пречника – maksimalno 10 cm), али и постизање боље униформности депонованог слоја.

Аутоматски пробер KARL SUSS AP4

UУређај је намењен за аутоматско и мануелно мерење и карактеризацију полупроводничких компоненета пречника до 100 mm; истовремено мерење у 42 тачке што му омогућава мерење сложенијих компонената – интегрисаних кола; опремљен стерео микроскопом са зумом; аутоматско кретање у x и y правцу са минималним кораком од 10 µm.