IHTM PLAVI
Универзитет у Београду
Институт за хемију, технологију и металургију
Институт од националног значаја за Републику Србију

grb BUУниверзитет у Београду

Двобојни Si PIN фотодетектори

За бесконтактно (даљинско) мерење температуре погодно је користити тзв. двобојне фотодетекторе који измере интензитете зрачења извора на две блиске таласне дужине (″боје″) и пореде их са стандардним изразима за зрачење апсолутно црног тела (Планков закон). Интезитети зрачења извора одређују се мерењем струје одзива (фотострује) две фотодиоде које се налазе у тзв. ″сендвич″ конфигурацији. Две готово идентичне силицијумске pin фотодиоде монтиране су једна изнад друге на блиском растојању од око 100 микрометара тако да се зрачење извора које пада на горњу фотодиоду  делимично апсорбује у њој, док неапсорбовани део зрачења пада на доњу диоду. Ова конфигурација има велику предност у односу на друге методе даљинског мерења температуре, јер не зависи од емисивности извора зрачења које је увек непознато. Поред тога, пошто исто зрачење пада на обе фотодиоде, мерење је независно од препрека које могу да се нађу на оптичком путу између извора зрачења и детектора (прашина, дим, пара), као и од померања извора зрачења. Двобојне диоде истражују се експериментално у Центру коришћењем МЕМС (анизотропно нагризање силицијума, анодно бондовање-спајање силицијума и Pyrex стакла, догризање силицијума након анодног бондовања, сечење стакла).  Диоде се постављају у ″сендвич″ конфигурацији, да би били поједностављени монтажа и повезивање електричних контаката.

  • Финансиран од ЕУ као западнобалкански центар изврсности за микро и наносистемске технологије Regmina FP7

  • Центар изузетних вредности МПНТР за микро и наносистемске технологије од 2014.

  • Носилац сертификата ISO 9001.

Контакт

centar za mikoelektronske tehnologije

Центар за микроелектронске технологије

Адреса:
Његошева 12
11000 Београд
Лабораторије:
Студенски трг 16/III, Београд
Телефон: +381 11 2638 188
Фаx:+381 11 2182 995
e-mail:
dana@nanosys.ihtm.bg.ac.rs