IHTM PLAVI
Универзитет у Београду
Институт за хемију, технологију и металургију
Институт од националног значаја за Републику Србију

grb BUУниверзитет у Београду

Флуктуације и шум код микросистема

Тим из ЦМТ представља једну од водећих екипа у свету за област шума у микросистемима. Посебно су битна истраживања адсорпционо-десорпционог шума код микро- и наногредица. Ово је врло комплексна област: пошто један МЕМС систем представља синтезу минијатурних механичких, електронских, оптоелектронских и других компонената, онда ће шум у њему бити генерисан у свакој од ових подобласти. То значи да ће у укупном шуму на перформансе МЕМС/НЕМС направе утицати све појаве електронских шумова, као што су Џонсон-Никвистов (топлотни) шум, генерационо-рекомбинациони и 1/f (фликер) шум. Механички делови доприносе термомеханичким шумом и адсорпционо-десорпционим. Сви ови шумови негативно ће утицати на перформансе сензора које ће бити сразмерне снази еквивалентној шуму. Са друге стране, већина њих узрокована је фундаменталним процесима унутар направе, нпр. Џонсон-Никвистов шум представља последицу тога што су електрони унутар материјала на температури већој од апсолутне нуле. Адсорпционо-десорпциони шум ће бити узрокован механизмом захваљујући коме хемијски сензор уопште функционише. Код оптоелектронских делова МЕМС система исто важи за везу процеса генерације-рекомбинације и са њом повезаног генерационо-рекомбинационог шума. Шум је нарочито битан код минијатурних гредица, мембране, дијафрагми и микромостова који представљају механички домен микросистема.

fluktacije

Слична је ситуација са плазмонским направама, укључујући плазмонске сензоре хемијских и биолошких агенса. У овим направама појављују се механизми шума нераскидиво везани за физику самог процеса детекције. Поред адсорпционо-десорпционог шума, од важности су оптички еквиваленти термалног (оптички Џонсонов) и фликер шума, као и шум нултих вибрација (zero-point) који је од значаја за МЕМС/НЕМС који укључују нелинеарне оптичке материјале.

        Развојем теоријских модела флуктуационих процеса код микро/наногредица, који су генерисани различитим фундаменталним механизмима, истраживачи Центра постижу значајне резултате на светском нивоу.  Такође, истраживачи Центра су први у свету започели истраживања сопственог шума у плазмонским структурама, укључујући плазмонске метаматеријале.

        Поред резултата везаних за израчунавање утицаја а-д шума на измерене вредности индекса преламања, предложили су обједињени фактор квалитета плазмонских сензора аналоган специфичној детективности у инфрацрвеним фотодетекторима.

  • Финансиран од ЕУ као западнобалкански центар изврсности за микро и наносистемске технологије Regmina FP7

  • Центар изузетних вредности МПНТР за микро и наносистемске технологије од 2014.

  • Носилац сертификата ISO 9001.

Контакт

centar za mikoelektronske tehnologije

Центар за микроелектронске технологије

Адреса:
Његошева 12
11000 Београд
Лабораторије:
Студенски трг 16/III, Београд
Телефон: +381 11 2638 188
Фаx:+381 11 2182 995
e-mail:
dana@nanosys.ihtm.bg.ac.rs