IHTM PLAVI
Универзитет у Београду
Институт за хемију, технологију и металургију
Институт од националног значаја за Републику Србију

grb BUУниверзитет у Београду

Пиезоотпорни силицијумски сензори притиска

Силицијумски сензори притиска

sicilijumski senzoriСензор притиска је осетљиви елемент који конвертује механички напон у електрични сигнал.

Сви наши сензори притиска  базирани су на пиезоотпорним микрочиповима са профилисаном дијафрагмом израђеном запреминским микромашинством у коју је уграђен минијатурни Витстонов мост.

Сви наши сензори и њихови чипови у потпуности су конципирани, пројектовани, развијени и произведени у нашим лабораторијама.

Сензоре испоручујемо тестиране и инкапсулиране у кућиште. Сензори за медицинске примене испоручују се као чипови без кућишта.

Сензори ниског притиска

Сензори серија NP и NPT пројектовани су за мерења ниског притиска, испод 0.5 bar. За разлику од серије NP, сензори серије NPT имају додатни сензор температуре уграђен у исти чип применом планарне технологије. Уграђени сензор температуре омогућује температурску компензацију очитавања сензора базирану на микропроцесору. Ове серије сензора нарочито су погодне за коришћење у индустријским мерним трансмитерима притиска. Сензори серија NP и NPT могу бити уграђени у различита кућишта, зависно од конкретне примене.

Каталошке странице са подацима о нашим сензорима ниског притиска можете снимити овде.

Сензори средњег притиска

Сензори серија SP и SPT пројектовани су за мерења ниског притиска, од 0.25 bar до 25 bar. За разлику од серије SP, сензори серије SPT имају додатни сензор температуре уграђен у исти чип применом планарне технологије. Уграђени сензор температуре омогућује температурску компензацију очитавања сензора базирану на микропроцесору. Сензори се уграђују у стандардно TO-5 кућиште, али се могу уградити и у друге типове кућишта, зависно од примене.

Каталошке странице са подацима о нашим сензорима средњег притиска можете снимити овдe.

Сензори високог притиска

Сензори серија VP и VPT пројектовани су за мерења високог притиска, од 25 to 1000 bar.

Каталошке странице са подацима о нашим сензорима високог притиска можете снимити овдe.

Мултисензорски низови

Матрични сензори притиска MSP-32 намењени су истовременом мерењу притиска у 32 различите тачке. Састоје се од 32 прецизна полупроводничка сензора притиска израђена процесом Iso-Boron, уграђеног мултиплексера и инструментационог појачавача. Сензори притиска уграђени су у термостатирану комору. Мултиплексер са дигиталним управљањем омогућује до 10.000 мерења у секунди произвољним редоследом. MSP-32 испоручују се у потпуности тестирани, заједно са контролним софтвером. Могуће је наручити и матрице са другим бројем сензора.

Каталошке странице са подацима о нашим 32-елементним сензорима можете снимити oвде.

Сензори притиска за медицинску употребу

Сензор притиска SP-7 намењен је употреби у медицинској инструментацији. Специјална конструкција омогућује једноставну температурну компензацију у једном кораку употребом NTC отпорника. Оријентација није неопходна.

Каталошке странице са подацима о нашим сензорским чиповима за медицинску употребу можете снимити oвде.

Уграђена заштита од преоптерећења

Наши пиезоотпорни микрочипови имају уграђену заштиту од преоптерећења која је део самога сензорског чипа и која омогућава да издрже велике натпритиске, како континуалне, тако и у виду хидрауличних удара ("water hammer"). Ова заштита развијена је у Центру за микроелектронске технологије и омогућује сензорима да без икаквих оштећења и накнадних последица издрже преоптерећења и до неколико стотина пута већа од номиналних.

  • Финансиран од ЕУ као западнобалкански центар изврсности за микро и наносистемске технологије Regmina FP7

  • Центар изузетних вредности МПНТР за микро и наносистемске технологије од 2014.

  • Носилац сертификата ISO 9001.

Контакт

centar za mikoelektronske tehnologije

Центар за микроелектронске технологије

Адреса:
Његошева 12
11000 Београд
Лабораторије:
Студенски трг 16/III, Београд
Телефон: +381 11 2638 188
Фаx:+381 11 2182 995
e-mail:
dana@nanosys.ihtm.bg.ac.rs