Руководилац: Весна Јовић
Група се бави развојем и применом планарних технологија, укључујући фотолитографију, оксидацију и дифузију силицијума, наношење танких филмова, развојем и применом метода микро и нанофабрикације укључујући запреминско и површинско микромашинство.
Тематика
Финансиран од ЕУ као западнобалкански центар изврсности за микро и наносистемске технологије Regmina FP7
Центар изузетних вредности МПНТР за микро и наносистемске технологије од 2014.
Носилац сертификата ISO 9001.
Адреса:
Његошева 12
11000 Београд
Лабораторије:
Студенски трг 16/III, Београд
Телефон: +381 11 2638 188
Фаx:+381 11 2182 995
e-mail:
dana@nanosys.ihtm.bg.ac.rs
