IHTM PLAVI
Универзитет у Београду
Институт за хемију, технологију и металургију
Институт од националног значаја за Републику Србију

grb BUУниверзитет у Београду

Адсорпционо-десорпциони процеси у МЕМС/НЕМС

Површина МЕМС односно НЕМС направа нужно мора бити изложена некој врсти радне средине, која може бити гасна или течна. То је нарочито битно за хемијске односно биолошке сензоре код којих излагање површине направе околини представља основни принцип рада направе. Приликом овог излагања долази до везивања честица околног флуида са површином направе (адсорпција, која може бити механичка-физичка – физисорпција или уз формирање хемијске везе – хемисорпција). Такође долази и до одвајања честица са површине –десорпција.

Утицај адсорпције и десорпције (a-d) на параметре и тиме функције система мора бити утолико већи уколико су елементи система мањи, јер иста количина флуида представља процентуално већи део читавог система. Последица је мењање механичких, оптичких и других особина микро/наносистема (маса, резонантна учестаност, индекс преламања итд).

        Истраживања Центра обухватају разне ситуације од интереса, као што су равнотежни и неравнотежни а-д процеси који могу бити монослојни (моноатомски/мономолекуларни описани Лангмировом изотермом) или вишеслојни (БЕТ) итд. Посебно је од интереса изучавање временски зависних a-d процеса који могу дати додатне информације о систему. За изучавање ових појава користе се аналитичке методе и нумеричка симулација.

        Ова истраживања су од директног интереса за функцију хемијских односно биoлошких сензора заснованих на микрогредицама, као и плазмонских хемијских односно биoлошких сензора, али су применљива и на друге направе, као што су радиофреквентни МЕМС и НЕМС, нпр. разне врсте резонатора. Планира се проширење истраживања на нове области, као што суa-d процеси код полупроводника и биолошких система.

adsorbciono

  • Финансиран од ЕУ као западнобалкански центар изврсности за микро и наносистемске технологије Regmina FP7

  • Центар изузетних вредности МПНТР за микро и наносистемске технологије од 2014.

  • Носилац сертификата ISO 9001.

Контакт

centar za mikoelektronske tehnologije

Центар за микроелектронске технологије

Адреса:
Његошева 12
11000 Београд
Лабораторије:
Студенски трг 16/III, Београд
Телефон: +381 11 2638 188
Фаx:+381 11 2182 995
e-mail:
dana@nanosys.ihtm.bg.ac.rs