Материјали депоновани у облику танких филмова су основни градивни блокови микро- и наноелектромеханичких система (МЕМС и НЕМС). Танкослојни филмови носе механичка оптерећења у термалним актуаторима, прекидачима и кондензаторима у RF MEM системима, оптичким прекидачима, микромоторима и многим другим минијатурним направама. За ове примене један од главних критеријума за избор специфичног материјала је способност задовољења захтева за одређеним механичким својствима, тако да је добро разумевање механичког понашања материјала у облику танких филмова од великог значаја (анализа процеса пузања у термалним актуаторима, истраживање замора у полисилицијуму и металним микроструктурама, истраживање релаксације и пузања код прекидача направљених од алуминијумских или златних филмова итд.
Електрохемијска депозиција је технологија која се показала као захвална за једноставно и контролисано формирање танких једнослојних и вишеслојних-композитних филмова за потребе МЕМС-а. Вишеслојни филмови или ламинати су подкласа танких филмова где су наизменично депоновани слојеви различитих материјала. Комбинацијом различитих материјала за супстрате и филмове (Ni, Cu, Si) и оптимизацијом процесних параметара, успели смо да остваримо жељену микроструктуру филмова и да постигнемо фину кристалну гранулацију нанодимензија. То је омогућило „кројење” жељених побољшаних механичких својстава композитних система.
Тест деформације узорка утискивачем је, због могућности директног мерења отиска и израчунавања тврдоће, као и због релативно једноставног извођења мерења, врло популаран метод међу истраживачима. За мерење тврдоће танких филмова, морају се користити јако мала оптерећења, па говоримо о микро- и нано-утискивању (microindentation / nanoindentation). Метода може бити статичка, када се након утискивања мери величина отиска и израчунава вредност тврдоће, и динамичка, када се током процеса оптерећивања и растерећивања узорка прати зависност оптерећење-померај (P-h) утискивача. Из ових података се могу добити параметри редукованог модула еластичности и тврдоће.
