МЕМС сензори на бази Зебековог ефекта су предмет дугогодишњег теоријског и експерименталног истраживања у ИХТМ-ЦМТ. Једна од главних предности ове класе сензора је веома широк спектар примене. До сада је реализовано неколико генерација термалних микросензора са термопаровима. Најновија генерација представља мултифункционалну структуру са побољшаним перформансама чији технолошки процес израде је компатибилан са већ освојеном МЕМС технологијом производње ИХТМ пиезорезистивних сензора притиска. Сам процес израде сензора, почевши од израде маски, преко технолошких поступака који укључују и запреминско микромашинство, представља потпуно затворену целину развијену у нашим лабораторијама.

 

 

Као резултат теоријских истраживања из ове области проистекли су аналитички модели (1Д и 2Д), као и нумерички модел (софтвер CoventorWare) који су намењени за проучавање и оптимизацију перформанси сензора. Експериментална истраживања су обухватила развој експерименталне методе и тестирање сензора за следеће примене: 1) мерење протока гасова (азот), 2) сензор вакуума, 3) термоелектрични конвертор, 4) сензор врсте гаса (хелијум), 5) интелигентни сензор вакуума.