Микроактуатори (микропокретачи) су интегрални део неких МЕМ (микро-електро-механичких) система који имају различите физичке функције. Истраживачки и развојни напори су усмерени ка примени и налажењу различитих принципа актуације и дизајнирању посебних структура погодних за специфичну примену. Међу актуаторске принципе од посебног интереса, јер их је могуће применити у актуаторима који се раде техникама микромашинства, спадају електростатички, магнетни, пиезоелектрични и термални принципи актуације. Термалним принципи актуације су у основи актуатора на бази биметалних ефеката, термалних пнеуматских ефеката, легура са ефектом памћења (SMA-shape memory alloy) и ефеката механичке термалне експанзије. Ми смо успешно реализовали МЕМ актуатор техникама микромашинства на силицијуму и стаклу на бази термичког ширења парафина као радног флуида. Фабрикација овог актуатора је обухватала технике запреминског микромашинства силицијума и стакла, анодно бондовање стакла и силицијума, израду термичког грејача на металном филму применом технологије вакуумског спатеровања и дефинисања грејача класичним фотолитографским поступцима, пуњење микро комора парафином и наношење еластичне мембране од PDMS-а (ПолиДиМетилСилоксана). Појединачни актуаторски елементи су спрегнути у вишеелементне батерије, чиме је омогућена актуаторска функција за примену у медицинским катетерима којима се може управљати.