МЕМС системи за примену у динамици флуида на микро нивоу су једна од најважнијих примена у процесном хемијском инжењерству. Основни ступњеви хемијских процеса су размена топлоте односно енергија активације која дефинише кинетику реакција и мешање којим се успоставља контакт супстанци које реагују на молекулском нивоу. У микрореакторима оба наведена ступња се одвијају на контролисан начин уз постојање добре хомогености у читавој запремини јер се ради о микрометарским и субмилиметарским димензијама. Последица је велика вредност површине према запремини и мале вредности дифузионог пута што све повећава брзине масеног трансфера. Ови аспекти пружају могућност постизања агресивнијих ступњева хемијских реакција које није могуће остварити у макрореакторима из физичких, квалитативних или сигурносних разлога. Надаље, микрореактор се може интегрисати у микроаналитичке уређаје у делу пре анализе у циљу припреме узорка или појачања сигнала.
Микрореактори обухватају врло широку класу уређаја који се међусобно даље разврставају према комплексности, степену интеграције, физичким и хемијским принципима и областима примене (микробиосистеми, хемијска синтеза, енергетски извори, као сто су микрофабриковане гориве ћелије (SOFC - solid oxide fuel cell), итд.
Наш центар располаже знањем за пројектовање и технологијама израде микрореактора за одређене намене. Микрофабрикација обухвата процесе запреминског и површинског микромашинства на силицијуму, стаклу и неким полимерима (PDMS, нпр.), технике наношења металних и диелектричних танких слојева за различите намене (грејачи, катализатори и сл.), анодно бондовање и бондовање са међуслојем, фотолитографију, микроплазма заваривање.
С обзиром да истраживачка тематика Центра покрива области МЕМС сензора притиска и температуре, као и хемијских сензора, требало би нагласити и могућност интеграције ових сензора са микрореакторима.
Једна од класа микрореактора од интереса су фотокаталитички микрореактори код којих је процес убрзан површинским плазмонима поларитонима, захваљујући великим локализацијама поља уз површину у оваквим структурама.
