IHTM PLAVI
Научна установа

Институт за хемију, технологију и металургију
Институт од националног значаја

grb BUУниверзитет у Београду

О Нама

Мисија и визија Центра

Мисија Центра за микроелектронске технологије (ЦМТ) је да спроводи фундаментална и примењена научна истраживања у области микроелектронских, оптоелектронских и генерално микросистемских технологија (МСТ) и материјала, односно микроелектромеханичких система (МЕМС) и наносистема (НЕМС), при чему се нагласак ставља на сензоре физичких величина применљиве у пракси.

Мисија ЦМТ је засновано на ставу да ће МЕМС и генерално генерално микросистемске и наносистемске технологије бити међу најзначајнијим факторима развоја светске науке и привреде у идућим годинама и деценијама и да ће се прожимање микро/наносистемских техника са свакодневним животом наставити у још већој мери него до сада.

Чврст став ЦМТ је да истраживања у Центру морају обухватити сваки корак од фундаменталних наука до готове направе применљиве у пракси. Због тога се типично почиње основним концептима и теоријским истраживањима, наставља формирањем аналитичких модела и нумеричким симулацијама, потом пројектовањем, истраживањем и развојем свих неопходних технолошких процедура, израдом конкретних направа и њиховом комплетном карактеризацијом. Понекад се потом иде на малосеријску производњу. Истраживања у ЦМТ су у великом степену међуповезана и зависна једна од других због карактера употребЉаваних технологија које нужно чине једну јединствену целину.

Лична карта Центра

Центар за микроелектронске технологије, ранији назив Центар за микроелектронске технологије и монокристале представља организациону целину у оквиру научне установе Институт за хемију, технологију и металургију која је члан Универзитета у Београду. Центар се бави истраживањима и технолошким развојем у оквиру микроелектронских технологија, микросистема и наносистема.

Центар једини у Србији производи микрочипове. При том се никада не користе лиценце нити туђе знање и све компоненте израђене у Центру, као и све технологије које се користе, представљају искључиво резултате рада истраживача Центра. Целокупан циклус, почев од основних физичких, електронских, хемијско-технолошких и других концепта и фундаменталних страживања за то везаних, преко пројектовања чипова, нумеричке симулације, израде фотолитографских маски, производње самог чипа, његове монтаже, до мерења и карактеризације стопроцентно се ради у лабораторијама Центра.

Центар је једина истраживачка целина у Србији и на западном Балкану која се бави истраживањем, израдом и производњом МЕМС компоненти (микроелектромеханички системи), односно микросистемима и која користи микромашинство и друге технологије микро и нанофабрикације.

Центар је превасходно оријентисан на истраживање и развој различитих врста сензора, детектора и мерних трансмитера. Резултат истраживања Центра су по правилу конкретне компоненте, направе и системи који се директно примењују у индустрији, енергетици, медицини и др. На основу развијених технологија и на основу сопствених фундаменталних истраживања, Центар је по сопственом оригиналном дизајну развио силицијумске пиезоотпорне сензоре притиска, трансмитере апсолутног и релативног притиска, диференције притиска и нивоа, силицијумске p-i-n фотодиоде, InSb и HgCdTe инфрацрвене детекторе, загревне SnO2 слојеве, монокристалне материјале и др. Многе од ових компонената и система малосеријски се производе и испоручују тржишту.

Центар је носилац сертификата ISO 9001:2001. Део истраживања у оквиру Центра рађен је за Електропривреду Србије, односно конкретно за ТЕНТ, термоелектрану Морава и хидроцентрала Власина, али такође за Југопетрол, Нис, водоснабдевање, шећеране итд. Током деведесетих година, у време економских санкција, Центар је производио и испоручивао привреди Србије софистициране мерне трансмитере који су били под трговачким ембаргом и нису се могли другачије набавити. Данас се мерни производи Центра и даље продају и поред слободне конкуренције од највећих светских произвођача.

Технолошки систем лабораторијске опреме који се користи у Центру је комплексан и представља органску целину где се појединачни делови надовезују и допуњују, тако да дају заокружен ланац сложених и мултидисциплинарних процедура на чијем улазу су концепт и технички захтеви, а на излазу конкретна компонента са практичном применљивошћу. Овај систем допуњава се, развија и усавршава већ деценијама и у овом тренутку састоји се од неколико стотина различитих ставки опреме које су међуповезане и стопроцентно функционалне.

Током дугогодишњег рада Центар је освојио низ технологија, од којих су најзначајније:

  • планарна технологија, 
  • технологије запреминског и површинског микромашинства, 
  • технологија епитаксијалног раста монокристала, 
  • технологије извлачења монокристала, 
  • танкослојна технологија, 
  • технологија загревних слојева.

Центар је преко пројекта REGMINA у оквирном програму FP7 Европске Уније финансиран као центар изврсности (centre of excellence) за западни Балкан за тематику микро и наносистема. Такође је акредитован од стране Министарства просвете, науке и технолошког развоја Републике Србије као центар изузетних вредности за микросистеме и наносистеме. Центар ради истраживачке пројекте како на међународном нивоу, тако и на националном, укључујући пројекте за ресорно министарство. Сви пројекти до сада без изузетка били су одлично оцењени.

Велики број научних тематика, као и израду конкретних микроелектронских или микросистемских компоненти Центар је први започео на националном нивоу или се чак и данас једини њима бави. Центар је први у некадашњој Југославији почео да се бави истраживањима и развојем на пољу полупроводничких технологија.

Готово сви истраживачи Центра оцењени су највишом првом категоријом. Центар већ деценијама има врло низак одлив мозгова, што је неуобичајено за његову област наука и технологија. Ово је важило чак и током кризе деведесетих година прошлог века.

Данас Центар окупља преко 30 сталних сарадника, од тога 22 истраживача. Центар има 13 доктора, 3 магистра, 3 мастера и 3 дипломирана инжењера. Од овог броја 14 истраживача су електроинжењери, 3 су инжењери технологије, 1 је дипломирани физичар, 2 су дипломирани машински инжењери и 2 су дипломирани физикохемичари.

Историјат Центра

Институт за хемију, технологију и металургију (ИХТМ) основан је 1961. године уредбом извршног већа Народне скупштине Србије (сл. глас. НР Србије, 19/61, 25. март 1961) као настављач традиције Државне хемијске лабораторије, коју је 1859. године основао Кнез Милош Обреновић. Као једна организациона целина овог инстититута најпре је формирано Одељење за полупроводнике и специјалне материјале и поступке. Од њега су образована одељења за микроелектронске технологије, Одељење за монокристале и Одељење за специјалне материјале (1968-1969). 1983. ова одељења спојила су се у Институт за микроелектронске технологије и монокристале, а затим је од овог Института настао Центар за микроелектронске технологије и монокристале у оквиру ИХТМ. Ступањем на снагу новог Статута ИХТМ 2013. име Центра промењено је на Центар за микроелектронске технологије.

Неки од најбитнијих резултата Центра и године њиховог достизања:

  • 1964 Силицијумске соларне ћелије
  • 1967 Високофреквентни силицијумски планарни транзистори
  • 1968 Полупроводнички микрофон
  • 1968 Прва силицијумска интегрисана кола
  • 1970 МОС транзистор са ефектом поља
  • 1972 Загревни слојеви базирани на проводним провидним оксидима
  • 1975 Силицијумска p-i-n фотодиода
  • 1977 Полупроводнички ласер са једним хетероспојем
  • 1983 Први МЕМС Si сензори притиска
  • 1986 InSb инфрацрвени детектори
  • 1990 HgCdTe ИЦ детектори за термовизију
  • 2000 Трансмитери притиска
  • 2002 Микро и наномеханички системи и сензори
  • 2007 Метаматеријали за хемијске сензоре
  • 2007 Флуктуације и шум у плазмонским направама
  • 2009 Паметни трансмитери притиска и температуре
  • 2010 МЕМС инфрацрвени детектори
  • 2011 Сензори на бази микро- и нано гредица.
  • 2014 Хемијски сензори
  • Финансиран од ЕУ као западнобалкански центар изврсности за микро и наносистемске технологије Regmina FP7

  • Центар изузетних вредности МПНТР за микро и наносистемске технологије од 2014.

  • Носилац сертификата ISO 9001.

Контакт

centar za mikoelektronske tehnologije

Центар за микроелектронске технологије

Адреса:
Његошева 12
11000 Београд
Лабораторије:
Студенски трг 16/III, Београд
Телефон: +381 11 2638 188
Фаx:+381 11 2182 995
e-mail:
dana@nanosys.ihtm.bg.ac.rs