IHTM PLAVI
Научна установа

Институт за хемију, технологију и металургију
Институт од националног значаја

grb BUУниверзитет у Београду

Технологије

Микросистемске и наносистемске технологије у ЦМТ

  • Дизајн и израда фотолитографских маски
  • Фотолитографија
  • Оксидација (формирање маскирајућег слоја за дифузију)
  • Дифузија (формирање пиезоотпорника)
  • Депоновање проводног слоја (Al метализација)
  • Нагризање Si и формирање мембране (запреминско микромашинство)
  • Сечење Si плочице на чипове
  • Монтажа чипова на кућиште
  • Карактеризација сензора

Методе карактеризације у Центру

  • Atomic force микроскопија
  • Фотоакустичка карактеризација
  • Мерења на симулатору апсолутно црног тела
  • Карактеризација фотодетектора (осетљивост, детективност, шум)
  • Инфрацрвена спектрофотометрија (ФТИР спектрометар, ФТИР микроскоп)
  • Спектрофотометрија у УВ и видљивом спектру
  • Мерење брзине одзива
  • Профилометрија (до дебљине 1 nm)
  • Калибрација трансмитера апсолутног и релативног притиска, диференције притиска, нивоа и температуре (сертификована лабораторија за Ex-proof направе)
  • Мерења у клима коморама
  • Burn-in тестови полупроводничких компоненти
  • Капацитивно-напонска мерења
  • Серијско тестирање чипова (аутоматски пробер)
  • Финансиран од ЕУ као западнобалкански центар изврсности за микро и наносистемске технологије Regmina FP7

  • Центар изузетних вредности МПНТР за микро и наносистемске технологије од 2014.

  • Носилац сертификата ISO 9001.

Контакт

centar za mikoelektronske tehnologije

Центар за микроелектронске технологије

Адреса:
Његошева 12
11000 Београд
Лабораторије:
Студенски трг 16/III, Београд
Телефон: +381 11 2638 188
Фаx:+381 11 2182 995
e-mail:
dana@nanosys.ihtm.bg.ac.rs