IHTM PLAVI
Naučna ustanova

Institut za hemiju, tehnologiju i metalurgiju
Institut od nacionalnog značaja

O Nama

Misija i vizija Centra

Misija Centra za mikroelektronske tehnologije (CMT) je da sprovodi fundamentalna i primenjena naučna istraživanja u oblasti mikroelektronskih, optoelektronskih i generalno mikrosistemskih tehnologija (MST) i materijala, odnosno mikroelektromehaničkih sistema (MEMS) i nanosistema (NEMS), pri čemu se naglasak stavlјa na senzore fizičkih veličina primenlјive u praksi.

Misija CMT je zasnovano na stavu da će MEMS i generalno generalno mikrosistemske i nanosistemske tehnologije biti među najznačajnijim faktorima razvoja svetske nauke i privrede u idućim godinama i decenijama i da će se prožimanje mikro/nanosistemskih tehnika sa svakodnevnim životom nastaviti u još većoj meri nego do sada.

Čvrst stav CMT je da istraživanja u Centru moraju obuhvatiti svaki korak od fundamentalnih nauka do gotove naprave primenlјive u praksi. Zbog toga se tipično počinje osnovnim konceptima i teorijskim istraživanjima, nastavlјa formiranjem analitičkih modela i numeričkim simulacijama, potom projektovanjem, istraživanjem i razvojem svih neophodnih tehnoloških procedura, izradom konkretnih naprava i njihovom kompletnom karakterizacijom. Ponekad se potom ide na maloserijsku proizvodnju. Istraživanja u CMT su u velikom stepenu međupovezana i zavisna jedna od drugih zbog karaktera upotrebljavanih tehnologija koje nužno čine jednu jedinstvenu celinu.

Lična karta Centra

Centar za mikroelektronske tehnologije, raniji naziv Centar za mikroelektronske tehnologije i monokristale predstavlјa organizacionu celinu u okviru naučne ustanove Institut za hemiju, tehnologiju i metalurgiju koja je član Univerziteta u Beogradu. Centar se bavi istraživanjima i tehnološkim razvojem u okviru mikroelektronskih tehnologija, mikrosistema i nanosistema.

Centar jedini u Srbiji proizvodi mikročipove. Pri tom se nikada ne koriste licence niti tuđe znanje i sve komponente izrađene u Centru, kao i sve tehnologije koje se koriste, predstavlјaju isklјučivo rezultate rada istraživača Centra. Celokupan ciklus, počev od osnovnih fizičkih, elektronskih, hemijsko-tehnoloških i drugih koncepta i fundamentalnih straživanja za to vezanih, preko projektovanja čipova, numeričke simulacije, izrade fotolitografskih maski, proizvodnje samog čipa, njegove montaže, do merenja i karakterizacije stoprocentno se radi u laboratorijama Centra.

Centar je jedina istraživačka celina u Srbiji i na zapadnom Balkanu koja se bavi istraživanjem, izradom i proizvodnjom MEMS komponenti (mikroelektromehanički sistemi), odnosno mikrosistemima i koja koristi mikromašinstvo i druge tehnologije mikro i nanofabrikacije.

Centar je prevashodno orijentisan na istraživanje i razvoj različitih vrsta senzora, detektora i mernih transmitera. Rezultat istraživanja Centra su po pravilu konkretne komponente, naprave i sistemi koji se direktno primenjuju u industriji, energetici, medicini i dr. Na osnovu razvijenih tehnologija i na osnovu sopstvenih fundamentalnih istraživanja, Centar je po sopstvenom originalnom dizajnu razvio silicijumske piezootporne senzore pritiska, transmitere apsolutnog i relativnog pritiska, diferencije pritiska i nivoa, silicijumske p-i-n fotodiode, InSb i HgCdTe infracrvene fotodetektore, zagrevne SnO2 slojeve, monokristalne materijale i dr. Mnoge od ovih komponenata i sistema maloserijski se proizvode i isporučuju tržištu.

Centar je nosilac sertifikata ISO 9001:2001. Deo istraživanja u okviru Centra rađen je za Elektroprivredu Srbije, odnosno konkretno za TENT, termoelektranu Morava i hidrocentrala Vlasina, ali takođe za Jugopetrol, Nis, vodosnabdevanje, šećerane itd. Tokom devedesetih godina, u vreme ekonomskih sankcija, Centar je proizvodio i isporučivao privredi Srbije sofisticirane merne transmitere koji su bili pod trgovačkim embargom i nisu se mogli drugačije nabaviti. Danas se merni proizvodi Centra i dalјe prodaju i pored slobodne konkurencije od najvećih svetskih proizvođača.

Tehnološki sistem laboratorijske opreme koji se koristi u Centru je kompleksan i predstavlјa organsku celinu gde se pojedinačni delovi nadovezuju i dopunjuju, tako da daju zaokružen lanac složenih i multidisciplinarnih procedura na čijem ulazu su koncept i tehnički zahtevi, a na izlazu konkretna komponenta sa praktičnom primenlјivošću. Ovaj sistem dopunjava se, razvija i usavršava već decenijama i u ovom trenutku sastoji se od nekoliko stotina različitih stavki opreme koje su međupovezane i stoprocentno funkcionalne.

 Tokom dugogodišnjeg rada Centar je osvojio niz tehnologija, od kojih su najznačajnije:

  • planarna tehnologija, 
  • tehnologije zapreminskog i površinskog mikromašinstva, 
  • tehnologija epitaksijalnog rasta monokristala, 
  • tehnologije izvlačenja monokristala, 
  • tankoslojna tehnologija, 
  • tehnologija zagrevnih slojeva.

Centar je preko projekta REGMINA u okvirnom programu FP7 Evropske Unije finansiran kao centar izvrsnosti (centre of excellence) za zapadni Balkan za tematiku mikro i nanosistema. Takođe je akreditovan od strane Ministarstva prosvete, nauke i tehnološkog razvoja Republike Srbije kao centar izuzetnih vrednosti za mikrosisteme i nanosisteme. Centar radi istraživačke projekte kako na međunarodnom nivou, tako i na nacionalnom, uklјučujući projekte za resorno ministarstvo. Svi projekti do sada bez izuzetka bili su odlično ocenjeni.

Veliki broj naučnih tematika, kao i izradu konkretnih mikroelektronskih ili mikrosistemskih komponenti Centar je prvi započeo na nacionalnom nivou ili se čak i danas jedini njima bavi. Centar je prvi u nekadašnjoj Jugoslaviji počeo da se bavi istraživanjima i razvojem na polјu poluprovodničkih tehnologija.

Gotovo svi istraživači Centra ocenjeni su najvišom prvom kategorijom. Centar već decenijama ima vrlo nizak odliv mozgova, što je neuobičajeno za njegovu oblast nauka i tehnologija. Ovo je važilo čak i tokom krize devedesetih godina prošlog veka.

Danas Centar okuplјa preko 30 stalnih saradnika, od toga 22 istraživača. Centar ima 13 doktora, 3 magistra, 3 mastera i 3 diplomirana inženjera. Od ovog broja 14 istraživača su elektroinženjeri, 3 su inženjeri tehnologije, 1 je diplomirani fizičar, 2 su diplomirani mašinski inženjeri i 2 su diplomirani fizikohemičari.

Istorijat Centra

Institut za hemiju, tehnologiju i metalurgiju (IHTM) osnovan je 1961. godine uredbom izvršnog veća Narodne skupštine Srbije (sl. glas. NR Srbije, 19/61, 25. mart 1961) kao nastavlјač tradicije Državne hemijske laboratorije, koju je 1859. godine osnovao Knez Miloš Obrenović. Kao jedna organizaciona celina ovog institituta najpre je formirano Odelјenje za poluprovodnike i specijalne materijale i postupke. Od njega su obrazovana odelјenja za mikroelektronske tehnologije, Odelјenje za monokristale i Odelјenje za specijalne materijale (1968-1969). 1983. ova odelјenja spojila su se u Institut za mikroelektronske tehnologije i monokristale, a zatim je od ovog Instituta nastao Centar za mikroelektronske tehnologije i monokristale u okviru IHTM. Stupanjem na snagu novog Statuta IHTM 2013. ime Centra promenjeno je na Centar za mikroelektronske tehnologije.

Neki od najbitnijih rezultata Centra i godine njihovog dostizanja:

  • 1964 Silicijumske solarne ćelije
  • 1967 Visokofrekventni silicijumski planarni tranzistori
  • 1968 Poluprovodnički mikrofon
  • 1968 Prva silicijumska integrisana kola
  • 1970 MOS tranzistor sa efektom polјa
  • 1972 Zagrevni slojevi bazirani na provodnim providnim oksidima
  • 1975 Silicijumska p-i-n fotodioda
  • 1977 Poluprovodnički laser sa jednim  heterospojem
  • 1983 Prvi MEMS Si senzori pritiska
  • 1986 InSb infracrveni detektori
  • 1990 HgCdTe IC detektori za termoviziju
  • 2000 Transmiteri pritiska
  • 2002 Mikro i nanomehanički sistemi i senzori
  • 2007 Metamaterijali za hemijske senzore
  • 2007 Fluktuacije i šum u plazmonskim napravama
  • 2009 Pametni transmiteri pritiska i temperature
  • 2010 MEMS infracrveni detektori
  • 2011 Senzori na bazi mikro- i nano gredica.
  • 2014 Hemijski senzori 
  • Finansiran od EU kao zapadnobalkanski centar izvrsnosti za mikro i nanosistemske tehnologije Regmina FP7

  • Centar izuzetnih vrednosti MPNTR za mikro i nanosistemske tehnologije od 2014.

  • Nosilac sertifikata ISO 9001.

Kontakt

centar za mikoelektronske tehnologije

Centar za mikroelektronske tehnologije

Adresa:
Njegoševa 12
11000 Beograd 
Laboratorije:
Studenski trg 16/III, Beograd
Telefon: +381 11 2638 188
Fax:+381 11 2182 995
e-mail:
dana@nanosys.ihtm.bg.ac.rs