IHTM PLAVI
Naučna ustanova

Institut za hemiju, tehnologiju i metalurgiju
Institut od nacionalnog značaja

Najbitnija oprema

Laser writer - LW405 (Microtech s.r.l.)

laser writer

Sistem LaserWriter system firme MICROTECH je namenjen definisanju planarnih geometrija na fotolitografskim maskama i direktno na supstratima, kao i za dijagnostiku površina. Radi sa rezolucijama do 0.8 μm i zasnovan je na galijum nitridnom laseru. Sistem transformiše laserski snop u kontrolisanu alatku za direktno ispisivanje fotolitografskih maski i za in situ procesiranje planarnih supstrata (npr. Si, GaAs, InP, mikrotalasni/kriogeni/biološki supstrati itd). Na taj način omogućuje izradu poluprovodničkih naprava submikrometarske rezolucije. Pogodan je i za izradu fotolitografskih maski za maloserijsku proizvodnju, kao i za izradu eksperimentalnih i prototipskih mikročipova.

Oprema nabavlјena sredstvima EU.

EVG620 Double Side Mask Aligner za jednostranu ili dvostranu fotolitografiju visoke rezolucije

evg620

Uređaj je namenjen za jednostranu ili dvostranu fotolitografiju visoke rezolucije koja se koristi u tehnologiji integrisanih kola. Konkretno, uređaj se koristi za veoma precizno poravnavanje likova na staklenoj fotolitografskoj masci sa likovima na supstratu (staklo, silicijum ili neki drugi materijal) sa preciznošću bolјom od 1 μm. Na taj način, likovi sa folitografske maske se prenose na fotoosetlјivu emulziju na supstratu osvetlјavanjem UV lampom čija je talasna dužina 350-450 nm. Uređaj koristi dva mikroskopa sa po dva objektiva sa gornje i donje strane supstrata za podešavanje likova. Kompletan uređaj je opremlјen vakuumskim i pneumatskim sistemom i u potpunosti se kontroliše racunarom. Računar je sastavni deo celog sistema sa softverom koji je razvijen specijalno za ovaj uređaj. Preciznost podešavanja je 0.06 μm.

Oprema nabavlјena sredstvima Ministarstva nauke.

Sistem za spajanje poluprovodničkih pločica (Wafer bonder) AML-AWB (AML)

wafer bonder

Sistem za bondovanje (spajanje) poluprovodničkih pločica AWB je višenamenski sistem koji je u stanju da vrši sledeće vrste zavarivanja poluprovodničkih pločica: adhezivno, anodno, direktno (visoko i niskotemperaturno) eutektičko, glas frit, lemlјenje i termokompresiono bondovanje. Uređaj omogućuje podešavanje položaja pločica sa tačnošću 2-5 mikrometara. Moguća je kontrola u realnom vremenu svih njegovih parametara kao što su struja, napon, temperatura, pritisak u komori, sila, razdvajanje pločica itd. Pritisci u komori mogu se podesiti od 10–6 mbar do 2 bar, naponi do 2.5 kV, temperature do 560oC i sile do 15 kN. Moguće je bondovati pločice do 3", kao i zasebne mikročipove. Uređaj je pre svega pogodan za izradu kompleksnih sistema za MEMS.

Oprema nabavlјena sredstvima EU.

Atomic Force Microscope (Thermomicroscopes AutoProbe CP)

atomic force

Uređaj iz grupe Scanning Probe Microscopes (SPM) namenjen za ispitivanje mikroskopskih površina sa visokom rezolucijom. U tu svrhu na raspolaganju nam je više SPM tehnika: kontaktna AFM (C-AFM), beskontaktna AFM (NC-AFM), Intermittent-Contact AFM (IC-AFM), Lateral Force Microscopy (LFM), Scanning Tunneling Microscopy (STM). Osnovne komponente su CP-R probe head, postolјe sa manuelnim XY i automatizovanim Z pomeranjem, piezoelektrični scanner. Sistem poseduje i optički mikroskop sa fiberoptičkim svetlosnim izvorom. Maksimalne dimenzije uzorka: 50 mm x 50 mm x 20 mm; merni opseg: (x, y) ravan {90 mm x 90 μm}; z osa do 7,5 μm.

Mikroskop sa skanirajućom sondom (SPM) Ntegra (NT-MDT)

mikroskop sa sondom

Radi se o multifunkcionalnoj platformi za rad sa mikroskopijom sa skanirajućom sondom uklјučujući između ostalog atomic force mikroskopiju. Naprava omogućuje korišćenje više od 40 mernih metoda. Eksperimenti se mogu raditi na vazduhu, u vakuumu, kontrolisanoj atmosferi ili u tečnosti. Omogućuje funkciju na visokim frekvencijama (do 5MHz). Pored standardne mikroskopije atomskih sila (AFM), uređaj omogućuje razne druge modove rada i može se dopuniti dodatnim delovima koji omogućuju npr. mikroskopiju u bliskom optičkom polјu (SNOM). Sistem omogućuje merenja počev od ultravisokih rezolucija na atomsko-molekularnom nivou, sve do uzoraka 200x200 µm za X, Y i 22 µm za Z) što je od koristi za ispitivanje živih tkiva i MEMS komponenti.

Oprema nabavlјena sredstvima EU.

Infracrveni Furije transform spektrofotometar FT-IR 6700 (Thermo Scientific Nicolet)

infracrveni furije

FT-IR 6700 je Furije transform infracrveni spektrofotometar. Omogućuje transmisiona, refleksiona i ATR merenja. Na uređaj se jednostavno priklјučuju plug-in dodaci kojima Centar raspolaže. Radne talasne dužine pokrivaju opseg od NIR do FIR, odnosno od 350 cm-1 do 13,500 cm-1 (740 nm do 28.6 μm). FT-IR 6700 sadrži Ge i dijamantske sonde za ATR merenja (atenuirana totalna refleksija) što je od važnosti za merenje malih uzoraka unutar mikro/nanofabrikovanih naprava. Sistem uklјučuje specijalizovani softver za spekrtalnu analizu i procesiranje merenih podataka. Takođe omogućuje automatsko uklanjanje uticaja atmosfere (voda, uglјen dioksid), ATR i fotoakustičku metodu.

Oprema nabavlјena sredstvima EU.

Infracrveni mikroskop i FTIR spektrofotometar iN10 (Thermo Scientific Nicolet)

infracrveni mikroskop

Infracrveni mikroskop i FTIR spektrofotometar iN10 FT-IR omogućuje merenje transmisionih, refleksionih i ATR spektara na uzorcima mikrometarskih veličina. Položaj merenja bira se pomoću CCD kamere i mikroskopa u vudlјivom spektru, pa se onda IC spektri mere sa površina čija je minimalna veličina 50 μm x 50 μm. Sistem uklјučuje softver ta semplovanje slike i spektralnu analizu.

Oprema nabavlјena sredstvima EU.

Peć za difuziju/oksidaciju (Helmut Seier gmbh)

pec za difuziju

Peć sa horizontalnom 3-stack konfiguracijom koja se koristi u poluprovodničkoj industriji i pilot linijama. U CMT se koristi za dopiranje silicijumskih pločica (2 i 3”) dopantima p-tipa (bor) i n tipa (fosfor), kao i za formiranje visokokvalitetnog termičkog oksida (vlažna i suva oksidacija). Radna temperatura 800-1200oC, termoregulacija zona sa preciznošću ±0.5oC; Širina zone oko 20 cm. Sadrži sistem za uvođenje nosećih gasova i sistem za kontrolu vlažnosti.

Sistem za nanošenje ultratankih slojeva katodnim raspršivanjem (spaterovanje) Perkin Elmer 2400

sistem za nanosenje

Uređaj namenjen prvenstveno za poluprovodničku industriju. Dizajniran je tako da omogućava veliku fleksibilnost u izboru meta (katode prečnika 6”) i modova rada. CMT raspolaže sa većim brojem katoda od različitih materijala: metala i njihovih legura, poluprovodnika, oksida. Modovi rada obuhvataju RF/DC spaterovanje, RF nagrizanje i reaktivno spaterovanje. Za postizanje visokog vakuuma (ispod 10-6 mbar) uređaj je opremlјen mehaničkom i turbomolekularnom pumpom firme Leybold (Model TURBOVAC 361) sa digitalnim kontrolerom. Spaterovanje uz rotaciju nosača na kome se nalaze pločice (supstrati) omogućava istovremeno procesiranje većeg boja supstrata (broj zavisi od njihovog prečnika – maksimalno 10cm), ali i postizanje bolјe uniformnosti deponovanog sloja.

Automatski prober KARL SUSS AP4

automatski prober

Uređaj je namenjen za automatsko i manuelno merenje i karakterizaciju poluprovodničkih komponeneta prečnika do 100 mm; istovremeno merenje u 42 tačke što mu omogućava merenje složenijih komponenata – integrisanih kola; opremlјen stereo mikroskopom sa zumom; automatsko kretanje u x i y pravcu sa minimalnim korakom od 10 µm.

  • Finansiran od EU kao zapadnobalkanski centar izvrsnosti za mikro i nanosistemske tehnologije Regmina FP7

  • Centar izuzetnih vrednosti MPNTR za mikro i nanosistemske tehnologije od 2014.

  • Nosilac sertifikata ISO 9001.

Kontakt

centar za mikoelektronske tehnologije

Centar za mikroelektronske tehnologije

Adresa:
Njegoševa 12
11000 Beograd 
Laboratorije:
Studenski trg 16/III, Beograd
Telefon: +381 11 2638 188
Fax:+381 11 2182 995
e-mail:
dana@nanosys.ihtm.bg.ac.rs