Tehnologije
Mikrosistemske i nanosistemske tehnologije u CMT
- Dizajn i izrada fotolitografskih maski
- Fotolitografija
- Oksidacija (formiranje maskirajućeg sloja za difuziju)
- Difuzija (formiranje piezootpornika)
- Deponovanje provodnog sloja (Al metalizacija)
- Nagrizanje Si i formiranje membrane (zapreminsko mikromašinstvo)
- Sečenje Si pločice na čipove
- Montaža čipova na kućište
- Karakterizacija senzora
Metode karakterizacije u CMT
- Mikroskopija atomskih sila (Atomic force microscopy)
- Infracrvena spektrofotometrija (FTIR spektrometar, FTIR mikroskop)
- Spektrofotometrija u UV i vidlјivom spektru
- Merenja u klima komorama
- Profilometrija (do deblјine 1 nm)
- Kalibracija transmitera apsolutnog i relativnog pritiska, diferencije pritiska, nivoa i temperature(sertifikovana laboratorija za Ex-proof naprave)
- Merenja na simulatoru apsolutno crnog tela
- Karakterizacija fotodetektora (osetlјivost, detektivnost, šum)
- Merenje brzine odziva
- Burn-in testovi poluprovodničkih komponenti
- Kapacitivno-naponska merenja
- Serijsko testiranje čipova (automatski prober)
- Fotoakustička karakterizacija
