IHTM PLAVI
Naučna ustanova

Institut za hemiju, tehnologiju i metalurgiju
Institut od nacionalnog značaja

Tehnologije

Mikrosistemske i nanosistemske tehnologije u CMT

  • Dizajn i izrada fotolitografskih maski
  • Fotolitografija
  • Oksidacija (formiranje maskirajućeg sloja za difuziju)
  • Difuzija (formiranje piezootpornika)
  • Deponovanje provodnog sloja (Al metalizacija)
  • Nagrizanje Si i formiranje membrane (zapreminsko mikromašinstvo)
  • Sečenje Si pločice na čipove
  • Montaža čipova na kućište
  • Karakterizacija senzora

Metode karakterizacije u CMT

  • Mikroskopija atomskih sila (Atomic force microscopy)
  • Infracrvena spektrofotometrija (FTIR spektrometar, FTIR mikroskop)
  • Spektrofotometrija u UV i vidlјivom spektru
  • Merenja u klima komorama
  • Profilometrija (do deblјine 1 nm)
  • Kalibracija transmitera apsolutnog i relativnog pritiska, diferencije pritiska, nivoa i temperature(sertifikovana laboratorija za Ex-proof naprave)
  • Merenja na simulatoru apsolutno crnog tela
  • Karakterizacija fotodetektora (osetlјivost, detektivnost, šum)
  • Merenje brzine odziva
  • Burn-in testovi poluprovodničkih komponenti
  • Kapacitivno-naponska merenja
  • Serijsko testiranje čipova (automatski prober)
  • Fotoakustička karakterizacija
  • Finansiran od EU kao zapadnobalkanski centar izvrsnosti za mikro i nanosistemske tehnologije Regmina FP7

  • Centar izuzetnih vrednosti MPNTR za mikro i nanosistemske tehnologije od 2014.

  • Nosilac sertifikata ISO 9001.

Kontakt

centar za mikoelektronske tehnologije

Centar za mikroelektronske tehnologije

Adresa:
Njegoševa 12
11000 Beograd 
Laboratorije:
Studenski trg 16/III, Beograd
Telefon: +381 11 2638 188
Fax:+381 11 2182 995
e-mail:
dana@nanosys.ihtm.bg.ac.rs