IHTM PLAVI
Univerzitet u Beogradu
Institut za hemiju, tehnologiju i metalurgiju
Institut od nacionalnog značaja za Republiku Srbiju

Dr Milče M. Smiljani

Viši naučni saradnik
Zamenik rukovodioca laboratorije za MEMS

 

 

Adresa:

Centar za Mikroelektronske tehnologije,
 Institut za Hemiju, Tehnologiju i Metalurgiju,
Univerzitet u Beogradu, Njegoševa 12, 11000 Beograd, Srbija

Telefon: +381 11 2630 757
Fax: +381 11 182 995
E-mail: smilce@nanosys.ihtm.bg.ac.rs

Kratka biografija:

Milče M. Smiljanić je rođena 1978. godine u Beogradu. Diplomirala, magistrirala i doktorirala je na Elektrotehničkom fakultetu, Univerzitet u Beogradu, smer za Optoelektroniku i lasersku tehniku. U Centru za Mikroelektronske tehnologije, Institut za Hemiju, Tehnologiju i Metalurgiju u Beogradu, ima zvanje višeg naučnog saradnika. U MEMS laboratoriji Centra za Mikroelektronske tehnologije je procesni inženjer za procese fotolitografije, vlažnog hemijskog nagrizanja silicijuma (TMAH, KOH),  vlažnog hemijskog nagrizanja Pyrex stakla i anodnog bondovanja. Njene oblasti naučnog istraživanja i tehnološkog razvoja su: mikromašinstvo silicijuma i stakla za izradu različitih vrsta senzora i aktuatora, piezootporni senzori pritiska, mikrogredice sa piezootpornim izlazom, zlatne mikrogredice za merenje magnetnog polja, silicijumske fotodiode, mikrofluidne platformе, grafenski senzori.

Profesionalna dostignuća:

  • Dizajn i izrada komercijalnih senzora pritiska SP-6 i SP-12 koji su montirani u nekoliko postrojenja Elektroprivrede Srbije (EPS), vodovoda i Srbijagasa.
  • Izrada prototipa zlatne mikrogredice za merenje magnetnog polja.
  • Dizajn i izrada prototipa visokotemperaturnog senzora za niže pritiske SP-11.
  • Dizajn i izrada funkcionalnih modela aktuatora na bazi promene faze.
  • Dizajn i izrada funkcionalnih modela različitih  mikrofluidnih platformi (CellFOS, mikroreaktor za sintezu TiO2 nanočestica i kompleksna mreža mikrofludnih mikrokanala).

Najznačajniji projekti:

Internacionalni:
2005 – 2008 Micro-nano cantilever based detection of small electromagnetic forces, SCOPES IB 7320-110923, Swiss National Science Foundation.
2008 – 2011 Reinforcement of Regional Microsystems and Nanosystems Centre REGMINA, Proj. No. 205533, 7th Framework Programme, European Union.
2013 – 2015 Phase Change Actuator, Scientific Partner ACMIT, Austria.
2015 – CellFOS-Optofluidic Platform, Scientific Partner ACMIT, Austria. Nacionalni:

2003 – 2004 Mikrosistemske i nanosistemske tehnologije za senzore i optoelektroniku IT.1.04.0062.B, Ministarstvo za nauku, tehnologiju i razvoj Republike Srbije.
2005 – 2007 Mikro i nanosistemske tehnologije, strukture i senzori TR-6151B, Ministarstvo nauke Republike Srbije.
2008 – 2010 Mikrosistemske, nanosistemske tehnologije i komponente TR-11027, Ministarstvo za nauku Republike Srbije.
2011 – 2019 Mikro, nano-sistemi i senzori za primenu u elektroprivredi, procesnoj industriji i zaštiti životne sredine – MiNaSiS TR 32008, Ministarstvo prosvete, nauke i tehnološkog razvoja Republike Srbije.
2018. Izrada MEMS strukture za grafenski mikrofon MGM, Dirigent Acoustics i Fond za inovacionu delatnost, Republika Srbija, Inovacioni vaučer broj 90 30.01.2018
2018. Nanošenje grafena za grafenski mikrofon GMM, Dirigent Acoustics i Fond za inovacionu delatnost, Republika Srbija, Inovacioni vaučer broj 202 10.10.2018.
2020. Mikrofluidni uređaji za primenu fotoredoks katalize, Dokaz koncepta, Fond za inovacionu delatnost, Republika Srbija, broj 5183.

Izabrane publikacije:

Radovi u časopisima

  1. M. M. Smiljanić, V. Jović, Ž. Lazić, “Maskless convex corner compensation technique on a (100) silicon substrate in a 25 wt % TMAH water solution”, Journal of Micromechanic and Microengineering Vol. 22, 2012, 115011 
  2. M. M. Smiljanić, B. Radjenović, M. Radmilović-Radjenović, Ž. Lazić, V. Jović, “Simulation and experimental study of maskless convex corner compensation in TMAH water solution”, Journal of Micromechanic and Microengineering Vol. 24, 2014, 115003
  3. M. Frantlović, I. Jokić, Ž. Lazić, M.M. Smiljanić, M. Obradov, B. Vukelić, Z. Jakšić and S. Stanković,  "A method enabling simultaneous pressure and temperature measurement using a single piezoresistive MEMS pressure sensor", Measurement Science and Technology 27, 2016, 125101  
  4. Z. Jakšić, M. M. Smiljanić, D. Vasiljević-Radović, M. Obradov, K. Radulović,  D. Tanasković, P. M. Krstajić, "Field localization control in aperture-based plasmonics by Boolean superposition of primitive forms at deep subwavelength", Opt Quant Electron 48, 2016
  5. M.M. Smiljanić, Ž. Lazić, B. Radjenović, M. Radmilović-Radjenović, V. Jović, "Evolution of Si Crystallographic Planes-Etching of Square and Circle Patterns in 25 wt % TMAH", Micromachines, 10, 102, 2019
  6. M. Sarajlić, M. Frantlović, M.M. Smiljanić, M.Rašljić, K. Cvetanović-Zobenica, Ž. Lazić, D. Vasiljević-Radović,  "Thin-film four-resistor temperature sensor for measurements in air", Measurement Science and Technology 30, 2019, 115102
  7. M.M. Smiljanić, Ž. Lazić, V. Jović, B. Radjenović, M. Radmilović-Radjenović, "Etching of Uncompensated Convex Corners with Sides along <n10> and <100> in 25 wt% TMAH at 80 ℃", Micromachines, 11, 253, 2020.
  8. M. Rašljić Rafajilović, K. Radulović, M.M. Smiljanić, Ž. Lazić, Z. Jakšić, D. Stanisavljev, D. Vasiljević Radović, "Monolithically Integrated Diffused Silicon Two-Zone Heaters for Silicon-Pyrex Glass Microreactors for Production of Nanoparticles: Heat Exchange Aspects ", Micromachines, 11, 818, 2020
  9. B. Vasić, U. Ralević, K. Cvetanović Zobenica, M.M. Smiljanić, Radoš Gajić, Marko Spasenović, Sten Vollebregt, "Low-friction, wear-resistant, and electrically homogeneous multilayer graphene grown by chemical vapor deposition on molybdenum", Applied Surface Science, 509, 2020, 144792
  10. M.V. Bošković, M. Sarajlić, M. Frantlović, M. M Smiljanić, D.V. Randjelović, Katarina Cvetanović Zobenica , D. Vasiljević Radović, "Aluminum-based self-powered hyper-fast miniaturized sensor for breath humidity detection", Sensors and Actuators B, 321, 2020, 128635
  11. S. Andrić, T. Tomašević-Ilić, M. V. Bošković, M. Sarajlić, D. Vasiljević-Radović, M. M Smiljanić, M. Spasenović, "Ultrafast humidity sensor based on liquid phase exfoliated graphene", Nanotechnology, 32, 2021, 025505
  12. M.M. Smiljanić, Ž. Lazić, M. Rašljić Rafajilović, K. Cvetanović Zobenica, E. Milinković, A. Filipović, "Silicon Y-bifurcated microchannels etched in 25 wt % TMAH water solution", Journal of Microengineering and Micromechanics, 31, 2021, 017001
  13. M. M. Smiljanić, B. Radjenović, Ž. Lazić, M. Radmilović-Radjenović, Rašljić Rafajilović, K. Cvetanović Zobenica, E. Milinković, A. Filipović, "Controllable arrangement of integrated obstacles in silicon microchannels etched in 25 wt % TMAH", Hemijska industrija, vol. 75(1), 2021, 15-24

Radovi sa konferencija:

1. Z. Đurić, M. M. Smiljanić, K. Radulović, Ž. Lazić, “Boron Redistribution During SOI Wafers Thermal Oxidation”, Proc. 25th Internat. Conf. on Microelectronics MIEL, Belgrade, 14-17 May 2006, vol. 1, pp. 333-336
2. D. M. Todorović, B. Cretin, Y. Q. Song, M. M. Smiljanić, Ž. Lazić, K. Radulović, “Photothermal Vibration Spectra of Square Diaphragm with Boss for Low-Pressure Sensor”, Proc. 26th Internat. Conf. on Microelectronics MIEL 2008, Niš, Serbia, 11-14 May 2008, Vol. 2, pp. 325-328
3. Z. Đurić, I. Jokić, M. Frantlović, D. Ranđelović, D. Vasiljevic-Radović, M. M. Smiljanić, Ž. Lazić, “Fabrication and Characterization of AFM Golden Microcantilevers and Measurement of Small Electromagnetic Forces”, Proc. 26th Internat. Conf. on Microelectronics MIEL 2008, Niš, Serbia , 11-14 May 2008, Vol. 2, pp. 363-366
4. Z. Đinović, M. Tomić, L. Manojlović, Ž. Lazić, M. M. Smiljanić, “Non-contact Measurement of Thickness Uniformity of Chemically Etched Si Membranes by Fiber-Optic Low-Coherence Interferometry”, Proc. 26th Internat. Conf. on Microelectronics MIEL 2008, Niš, Serbia, 11-14 May 2008, Vol. 2, pp. 321-324
5. V. Jović, J. Lamovec, M. M. Smiljanić, M. Popović, “Micromachining by Maskless Wet Anisotropic Chemical Etching Oriented Silicon”, Proc. 27th Internat. Conf. on Microelectronics MIEL 2010, Niš, Serbia , 16-19 May 2010
6. V. Jović, M. M. Smiljanić, J. Lamovec, M. Popović, “Microfabrication of Maskless-Mask Wet Anisotropic Etching for Realization of Multilevel Structures in Oriented Si”, Proc. 28th Internat. Conf. on Microelectronics MIEL 2012, Niš, Serbia , 13-16 May 2012
7. Ž. Lazić, M. M. Smiljanić, M. Rašljić, I. Mladenović, K. Radulović, M. Sarajlić, D. Vasiljević-Radović, "Wet isotropic chemical etching of Pyrex glass with masking layers Cr/Au", Proc. 1st Conf. IcETRAN, Vrnjačka Banja, June 2 – 5, 2014, pp. MOI1.1.1-4
8. Ž. Lazić, M. M. Smiljanić, M. Rašljić, "Glass Micromachining with Sputtered Silicon as a Masking Layer", Proc. 29th International Conference on Microelectronics MIEL 2014, Niš, Serbia, May 12-15, 2014, pp. 175-178
9. Ž. Lazić, M. M. Smiljanić, K. Radulović, M. Rašljić, K. Cvetanović, D. Vasiljević-Radović, Z. Djinović, C. Kment, "Design and Fabrication of the Silicon Moving Plate with Cantilever Beams for Paraffin Based Actuator", Proceedings of 2nd International Conference on Electrical, Electronic and Computing Engineering, IcETRAN 2015, Silver Lake, Serbia, June 8 – 11, 2015, pp. MOI2.1.1-6
10. M. Rašljić, I. Gadjanski, M.M Smiljanić, Novica Z. Janković, Ž. Lazić, K. Cvetanović Zobenica, "Microfabrication of bifurcated microchannels with PDMS and ABS", Proceedings of 4nd International Conference on Electrical, Electronic and Computing Engineering, IcETRAN 2017, Kladovo, Serbia, June 5 – 8, 2017, pp. MOI2.1
11. P. Poljak, M. Frantlović, M.M. Smiljanić, Ž. Lazić, I. Jokić, D. Randjelović, Z. Mitrović, "A Measurement Setup Enabling Automatic Characterization of Silicon Piezoresistive MEMS Pressure Sensors", CAS 2017 Proceedings 2017 International semiconductor conference, Sinaia, Romania 11.-14.10.2017, pp.237-240