IHTM PLAVI
Naučna ustanova

Institut za hemiju, tehnologiju i metalurgiju
Institut od nacionalnog značaja

Adsorpciono-desorpcioni procesi u MEMS/NEMS

Površina MEMS odnosno NEMS naprava nužno mora biti izložena nekoj vrsti radne sredine, koja može biti gasna ili tečna. To je naročito bitno za hemijske odnosno biološke senzore kod kojih izlaganje površine naprave okolini predstavlјa osnovni princip rada naprave. Prilikom ovog izlaganja dolazi do vezivanja čestica okolnog fluida sa površinom naprave (adsorpcija, koja može biti mehanička-fizička – fizisorpcija ili uz formiranje hemijske veze – hemisorpcija). Takođe dolazi i do odvajanja čestica sa površine – desorpcija.

Uticaj adsorpcije i desorpcije (a-d) na parametre i time funkcije sistema mora biti utoliko veći ukoliko su elementi sistema manji, jer ista količina fluida predstavlјa procentualno veći deo čitavog sistema. Posledica je menjanje mehaničkih, optičkih i drugih osobina mikro/nanosistema (masa, rezonantna učestanost, indeks prelamanja itd).

        Istraživanja Centra obuhvataju razne situacije od interesa, kao što su ravnotežni i neravnotežni a-d procesi koji mogu biti monoslojni (monoatomski/monomolekularni opisani Langmirovom izotermom) ili višeslojni (BET) itd. Posebno je od interesa izučavanje vremenski zavisnih a-d procesa koji mogu dati dodatne informacije o sistemu. Za izučavanje ovih pojava koriste se analitičke metode i numerička simulacija.

        Ova istraživanja su od direktnog interesa za funkciju hemijskih odnosno bioloških senzora zasnovanih na mikrogredicama, kao i plazmonskih hemijskih odnosno bioloških senzora, ali su primenlјiva i na druge naprave, kao što su radiofrekventni MEMS i NEMS, npr. razne vrste rezonatora. Planira se proširenje istraživanja na nove oblasti, kao što su a-d procesi kod poluprovodnika i bioloških sistema.

adsorbciono

  • Finansiran od EU kao zapadnobalkanski centar izvrsnosti za mikro i nanosistemske tehnologije Regmina FP7

  • Centar izuzetnih vrednosti MPNTR za mikro i nanosistemske tehnologije od 2014.

  • Nosilac sertifikata ISO 9001.

Kontakt

centar za mikoelektronske tehnologije

Centar za mikroelektronske tehnologije

Adresa:
Njegoševa 12
11000 Beograd 
Laboratorije:
Studenski trg 16/III, Beograd
Telefon: +381 11 2638 188
Fax:+381 11 2182 995
e-mail:
dana@nanosys.ihtm.bg.ac.rs