IHTM PLAVI
Naučna ustanova

Institut za hemiju, tehnologiju i metalurgiju
Institut od nacionalnog značaja

Dvobojni Si PIN fotodetektori

Za beskontaktno (dalјinsko) merenje temperature pogodno je koristiti tzv. dvobojne fotodetektore koji izmere intenzitete zračenja izvora na dve bliske talasne dužine (″boje″) i porede ih sa standardnim izrazima za zračenje apsolutno crnog tela (Plankov zakon). Inteziteti zračenja izvora određuju se merenjem struje odziva (fotostruje) dve fotodiode koje se nalaze u tzv. ″sendvič″ konfiguraciji. Dve gotovo identične silicijumske pin fotodiode montirane su jedna iznad druge na bliskom rastojanju od oko 100 mikrometara tako da se zračenje izvora koje pada na gornju fotodiodu  delimično apsorbuje u njoj, dok neapsorbovani deo zračenja pada na donju diodu. Ova konfiguracija ima veliku prednost u odnosu na druge metode dalјinskog merenja temperature, jer ne zavisi od emisivnosti izvora zračenja koje je uvek nepoznato. Pored toga, pošto isto zračenje pada na obe fotodiode, merenje je nezavisno od prepreka koje mogu da se nađu na optičkom putu između izvora zračenja i detektora (prašina, dim, para), kao i od pomeranja izvora zračenja. Dvobojne diode istražuju se eksperimentalno u Centru korišćenjem MEMS (anizotropno nagrizanje silicijuma, anodno bondovanje-spajanje silicijuma i Pyrex stakla, dogrizanje silicijuma nakon anodnog bondovanja, sečenje stakla).  Diode se postavlјaju u ″sendvič″ konfiguraciji, da bi bili pojednostavlјeni montaža i povezivanje električnih kontakata.

  • Finansiran od EU kao zapadnobalkanski centar izvrsnosti za mikro i nanosistemske tehnologije Regmina FP7

  • Centar izuzetnih vrednosti MPNTR za mikro i nanosistemske tehnologije od 2014.

  • Nosilac sertifikata ISO 9001.

Kontakt

centar za mikoelektronske tehnologije

Centar za mikroelektronske tehnologije

Adresa:
Njegoševa 12
11000 Beograd 
Laboratorije:
Studenski trg 16/III, Beograd
Telefon: +381 11 2638 188
Fax:+381 11 2182 995
e-mail:
dana@nanosys.ihtm.bg.ac.rs