IHTM PLAVI
Naučna ustanova

Institut za hemiju, tehnologiju i metalurgiju
Institut od nacionalnog značaja

Fluktuacije i šum kod mikrosistema

Tim iz CMT predstavlјa jednu od vodećih ekipa u svetu za oblast šuma u mikrosistemima. Posebno su bitna istraživanja adsorpciono-desorpcionog šuma kod mikro- i nanogredica. Ovo je vrlo kompleksna oblast: pošto jedan MEMS sistem predstavlјa sintezu minijaturnih mehaničkih, elektronskih, optoelektronskih i drugih komponenata, onda će šum u njemu biti generisan u svakoj od ovih podoblasti. To znači da će u ukupnom šumu na performanse MEMS/NEMS naprave uticati sve pojave elektronskih šumova, kao što su Džonson-Nikvistov (toplotni) šum, generaciono-rekombinacioni i 1/f (fliker) šum. Mehanički delovi doprinose termomehaničkim šumom i adsorpciono-desorpcionim. Svi ovi šumovi negativno će uticati na performanse senzora koje će biti srazmerne snazi ekvivalentnoj šumu. Sa druge strane, većina njih uzrokovana je fundamentalnim procesima unutar naprave, npr. Džonson-Nikvistov šum predstavlјa posledicu toga što su elektroni unutar materijala na temperaturi većoj od apsolutne nule. Adsorpciono-desorpcioni šum će biti uzrokovan mehanizmom zahvalјujući kome hemijski senzor uopšte funkcioniše. Kod optoelektronskih delova MEMS sistema isto važi za vezu procesa generacije-rekombinacije i sa njom povezanog generaciono-rekombinacionog šuma. Šum je naročito bitan kod minijaturnih gredica, membrane, dijafragmi i mikromostova koji predstavlјaju mehanički domen mikrosistema.

fluktacije

   Slična je situacija sa plazmonskim napravama, uklјučujući plazmonske senzore hemijskih i bioloških agensa. U ovim napravama pojavlјuju se mehanizmi šuma neraskidivo vezani za fiziku samog procesa detekcije. Pored adsorpciono-desorpcionog šuma, od važnosti su optički ekvivalenti termalnog (optički Džonsonov) i fliker šuma, kao i šum nultih vibracija (zero-point) koji je od značaja za MEMS/NEMS koji uklјučuju nelinearne optičke materijale.

        Razvojem teorijskih modela fluktuacionih procesa kod mikro/nanogredica, koji su generisani različitim fundamentalnim mehanizmima, istraživači Centra postižu značajne rezultate na svetskom nivou. Takođe, istraživači Centra su prvi u svetu započeli istraživanja sopstvenog šuma u plazmonskim strukturama, uklјučujući plazmonske metamaterijale.

        Pored rezultata vezanih za izračunavanje uticaja a-d šuma na izmerene vrednosti indeksa prelamanja, predložili su objedinjeni faktor kvaliteta plazmonskih senzora analogan specifičnoj detektivnosti u infracrvenim fotodetektorima.

  • Finansiran od EU kao zapadnobalkanski centar izvrsnosti za mikro i nanosistemske tehnologije Regmina FP7

  • Centar izuzetnih vrednosti MPNTR za mikro i nanosistemske tehnologije od 2014.

  • Nosilac sertifikata ISO 9001.

Kontakt

centar za mikoelektronske tehnologije

Centar za mikroelektronske tehnologije

Adresa:
Njegoševa 12
11000 Beograd 
Laboratorije:
Studenski trg 16/III, Beograd
Telefon: +381 11 2638 188
Fax:+381 11 2182 995
e-mail:
dana@nanosys.ihtm.bg.ac.rs