Istraživanja u Centru obuhvataju različite tipove MEMS senzora u čipu kao što su akcelerometri i MEMS žiroskopi. Za osnovni princip očitavanja ovih naprava izabran je piezootporni efekat. Izučavanja akcelerometara bila su usmerena na osetlјivije čipove sa nestandardnim mernim opsezima, jer se standardni prave u velikim serijama za npr. automobilsku industriju ili mobilnu telefoniju. Korišćen je pristup sličan onom koji se u Centru upotreblјava za izradu MEMS senzora pritiska, tj. zapreminskim mikromašinstvom se izrađuje dijafragma u monokristalnom silicijumu u koju se planarnim tehnologijama ubacuju piezootpornici u konfiguraciji Vitstonovog mosta, a na sredini dijafragme formira se središnje ispupčenje ("boss") koje služi kao intercijalna masa, ili se alternativno na taj deo postupkom mikromontaže fiksira dodatna inercijalna masa. Kao tehnološki pristup MEMS žiroskopima razmatrana je tehnologija površinskog mikromašinstva, kojom se formira tzv. Koriolisov vibracioni žiroskop odnosno žiroskop sa vibracionom strukturom, konkretno upotreblјavaju se uparene probne mase koje se dovode do rezonancije (tzv. tuning fork žiroskop).