IHTM PLAVI
Naučna ustanova

Institut za hemiju, tehnologiju i metalurgiju
Institut od nacionalnog značaja

Inercijalni senzori

Istraživanja u Centru obuhvataju različite tipove MEMS senzora u čipu kao što su akcelerometri i MEMS žiroskopi. Za osnovni princip očitavanja ovih naprava izabran je piezootporni efekat. Izučavanja akcelerometara bila su usmerena na osetlјivije čipove sa nestandardnim mernim opsezima, jer se standardni prave u velikim serijama za npr. automobilsku industriju ili mobilnu telefoniju. Korišćen je pristup sličan onom koji se u Centru upotreblјava za izradu MEMS senzora pritiska, tj. zapreminskim mikromašinstvom se izrađuje dijafragma u monokristalnom silicijumu u koju se planarnim tehnologijama ubacuju piezootpornici u konfiguraciji Vitstonovog mosta, a na sredini dijafragme formira se središnje ispupčenje ("boss") koje služi kao intercijalna masa, ili se alternativno na taj deo postupkom mikromontaže fiksira dodatna inercijalna masa. Kao tehnološki pristup MEMS žiroskopima razmatrana je tehnologija površinskog mikromašinstva, kojom se formira tzv. Koriolisov vibracioni žiroskop odnosno žiroskop sa vibracionom strukturom, konkretno upotreblјavaju se uparene probne mase koje se dovode do rezonancije (tzv. tuning fork žiroskop).

  • Finansiran od EU kao zapadnobalkanski centar izvrsnosti za mikro i nanosistemske tehnologije Regmina FP7

  • Centar izuzetnih vrednosti MPNTR za mikro i nanosistemske tehnologije od 2014.

  • Nosilac sertifikata ISO 9001.

Kontakt

centar za mikoelektronske tehnologije

Centar za mikroelektronske tehnologije

Adresa:
Njegoševa 12
11000 Beograd 
Laboratorije:
Studenski trg 16/III, Beograd
Telefon: +381 11 2638 188
Fax:+381 11 2182 995
e-mail:
dana@nanosys.ihtm.bg.ac.rs