IHTM PLAVI
Naučna ustanova

Institut za hemiju, tehnologiju i metalurgiju
Institut od nacionalnog značaja

Kompozitni sistemi tanki film-supstrat

Materijali deponovani u obliku tankih filmova su osnovni gradivni blokovi mikro- i nanoelektromehaničkih sistema (MEMS i NEMS). Tankoslojni filmovi nose mehanička opterećenja u termalnim aktuatorima, prekidačima i kondenzatorima u RF MEM sistemima, optičkim prekidačima, mikromotorima i mnogim drugim minijaturnim napravama. Za ove primene jedan od glavnih kriterijuma za izbor specifičnog materijala je sposobnost zadovolјenja zahteva za određenim mehaničkim svojstvima, tako da je dobro razumevanje mehaničkog ponašanja materijala u obliku tankih filmova od velikog značaja (analiza procesa puzanja u termalnim aktuatorima, istraživanje zamora u polisilicijumu i metalnim mikrostrukturama, istraživanje relaksacije i puzanja kod prekidača napravlјenih od aluminijumskih ili zlatnih filmova itd.

        Elektrohemijska depozicija je tehnologija koja se pokazala kao zahvalna za jednostavno i kontrolisano formiranje tankih jednoslojnih i višeslojnih-kompozitnih filmova za potrebe MEMS-a. Višeslojni filmovi ili laminati su podklasa tankih filmova gde su naizmenično deponovani slojevi različitih materijala. Kombinacijom različitih materijala za supstrate i filmove (Ni, Cu, Si) i optimizacijom procesnih parametara, uspeli smo da ostvarimo želјenu mikrostrukturu filmova i da postignemo finu kristalnu granulaciju nanodimenzija. To je omogućilo „krojenje” želјenih pobolјšanih mehaničkih svojstava kompozitnih sistema.

        Test deformacije uzorka utiskivačem je, zbog mogućnosti direktnog merenja otiska i izračunavanja tvrdoće, kao i zbog relativno jednostavnog izvođenja merenja, vrlo popularan metod među istraživačima. Za merenje tvrdoće tankih filmova, moraju se koristiti jako mala opterećenja, pa govorimo o mikro- i nano-utiskivanju (microindentation / nanoindentation). Metoda može biti statička, kada se nakon utiskivanja meri veličina otiska i izračunava vrednost tvrdoće, i dinamička, kada se tokom procesa opterećivanja i rasterećivanja uzorka prati zavisnost opterećenje-pomeraj (P-h) utiskivača. Iz ovih podataka se mogu dobiti parametri redukovanog modula elastičnosti i tvrdoće.

  • Finansiran od EU kao zapadnobalkanski centar izvrsnosti za mikro i nanosistemske tehnologije Regmina FP7

  • Centar izuzetnih vrednosti MPNTR za mikro i nanosistemske tehnologije od 2014.

  • Nosilac sertifikata ISO 9001.

Kontakt

centar za mikoelektronske tehnologije

Centar za mikroelektronske tehnologije

Adresa:
Njegoševa 12
11000 Beograd 
Laboratorije:
Studenski trg 16/III, Beograd
Telefon: +381 11 2638 188
Fax:+381 11 2182 995
e-mail:
dana@nanosys.ihtm.bg.ac.rs