IHTM PLAVI
Univerzitet u Beogradu
Institut za hemiju, tehnologiju i metalurgiju
Institut od nacionalnog značaja za Republiku Srbiju

Laboratorija za planarne i MEMS tehnologije

  • fotolitografija (žuta soba 1 614, žuta soba 2 602b)
  • planarne tehnologije 612
  • MEMS tehnologije/mikromašinstvo 614
  • tankoslojne tehnologije 614

Laboratorija za planarne i MEMS tehnologije je centralna tehnološka laboratorija Centra za mikroelektronske tehnologije i služi za izradu mikročipova od koncepta do gotovog proizvoda. Sastoji se od nekoliko celina koje se međusobno nadopunjuju i čine kompleksni tehnološki lanac.

1. Dizajn i izrada fotolitografskih maski

dizajn izrada fotolitografskih maski

 

2. Oksidacija i difuzija

oksidacija difuzija 1

oksidacija difuzija 2

 

3. Deponovanje tankih slojeva

deponovanje tankih slojeva

 

6. Nagrizanje silicijuma i formiranje membrane (mikromašinstvo)

nagrizanje sicilijuma

nagrizanje sicilijuma 2

 

7. Sečenje silicijumskih pločica na čipove

secenje si plocica

 

8. Montaža čipova na kućište

montaza cipova

 

9. Karakterizacija senzora

karakterizacija senzora

Centar za mikroelektronske tehnologije

  • Finansiran od EU kao zapadnobalkanski centar izvrsnosti za mikro i nanosistemske tehnologije Regmina FP7

  • Centar izuzetnih vrednosti MPNTR za mikro i nanosistemske tehnologije od 2014.

  • Nosilac sertifikata ISO 9001.

Kontakt

centar za mikoelektronske tehnologije

Centar za mikroelektronske tehnologije

Adresa:
Njegoševa 12
11000 Beograd 
Laboratorije:
Studenski trg 16/III, Beograd
Telefon: +381 11 2638 188
Fax:+381 11 2182 995
e-mail:
dana@nanosys.ihtm.bg.ac.rs