IHTM PLAVI
Naučna ustanova

Institut za hemiju, tehnologiju i metalurgiju
Institut od nacionalnog značaja

MEMS čip senzora niskog pritiska za povišene radne temperature do 300S

Centru je razvijana nova vrsta senzora pritiska za povišene temperature do 3000S. Nova vrsta senzora je napravlјena uz pomoć standardnih planarnih tehnologija i vlažnog anizotropnog hemijskog nagrizanja SOI (Silicon-On-Insulator) pločica. Ovaj visokotemperaturni senzor pritiska se zasnivao na ideji da piezootpornici nisu više međusobno, kao i od supstrata, izolovani kontaktnim potencijalom p-n spoja, već dielektrikom silicijum dioksidom.

 

mems cip

 

Kako postoji značajna potreba za merenjem niskih pritisaka fluida čija temperatura može biti vrlo visoka, u Centru je započet razvoj novog tipa visokotemperaturnogsenzora apsolutnihnižih pritiska, koji ima kvadratnu profilisanu dijafragmu u obliku centriranog središnjeg ojačanja – bosa. Piezootpornici senzora su međusobno izolovani silicijum dioksidom, kao i od supstrata. Ovaj senzor je napravlјen na bazi SOI pločica, ali je primenjena maskless tehnika zasnovana na vlažnom hemijskom nagrizanju u vodenom rastvoru tetrametil amonijum hidroksida. Maskless tehnika je primenjena da bi se dobila profilisana dijafragma sa središnjim bosom oblika pravilne zarublјene piramide i piezootpornici ponovlјivih dimenzija. Ovakva dijafragma omogućava dobru linearnost odziva kod senzora niskih pritisaka. 

  • Finansiran od EU kao zapadnobalkanski centar izvrsnosti za mikro i nanosistemske tehnologije Regmina FP7

  • Centar izuzetnih vrednosti MPNTR za mikro i nanosistemske tehnologije od 2014.

  • Nosilac sertifikata ISO 9001.

Kontakt

centar za mikoelektronske tehnologije

Centar za mikroelektronske tehnologije

Adresa:
Njegoševa 12
11000 Beograd 
Laboratorije:
Studenski trg 16/III, Beograd
Telefon: +381 11 2638 188
Fax:+381 11 2182 995
e-mail:
dana@nanosys.ihtm.bg.ac.rs