IHTM PLAVI
Naučna ustanova

Institut za hemiju, tehnologiju i metalurgiju
Institut od nacionalnog značaja

MEMS čip senzora pritiska sa ugrađenom blokadom preopterećenja

U nekimprimenama senzori pritiska su izloženi nepredviđenim oscilacijama, udarnim talasima,  rezonantnim efektima koji mogu usled ekstremnog povećanja pritiska daleko iznad nominalne vrednosti da dovedu do uništenja senzorske dijafragme. Za piezootporni senzor pritiska najefikasnija zaštita je ona koja je ugrađena u sam senzor i koja je kao i sam senzor izvedena MEMS tehnologijom, a koja ograničava prekomerni ugib dijafragme ispod granice pucanja pod dejstvom ekstremne promene pritiska. U Centruje razvijena nova generacija senzora pritiska sa ugrađenom zaštitom od preopterećenja u vidu mikromašinski izrađenog uloška koji se postavlјa ispod dijafragme i služi kao graničnik od prekomernog ugibanja. Pod dejstvom prekomernog pritiska, dijafragma se oslanja na gornju površinu uloška i na taj način se sprečava lom dijafragme. Uložak je procesiran MEMS tehnološkim postupcima, nagrizanjem u 30% vodenom rastvoru KOH. Uložak je, kao i sam čip senzora pritiska,  anodno bondovan na podlogu od Pyrex stakla. Zazor koji postoji između donje površine dijafragme i gornje površine uloška mora precizno da se podesi u zavisnosti od konkretnog mernog opsega. Korišćenjem uloška, dozvolјeno preopterećenje senzorske dijafragme je i do nekoliko stotina puta veće od nominalnog mernog opsega.

mems cip senzora 1

mems cip senzora

  • Finansiran od EU kao zapadnobalkanski centar izvrsnosti za mikro i nanosistemske tehnologije Regmina FP7

  • Centar izuzetnih vrednosti MPNTR za mikro i nanosistemske tehnologije od 2014.

  • Nosilac sertifikata ISO 9001.

Kontakt

centar za mikoelektronske tehnologije

Centar za mikroelektronske tehnologije

Adresa:
Njegoševa 12
11000 Beograd 
Laboratorije:
Studenski trg 16/III, Beograd
Telefon: +381 11 2638 188
Fax:+381 11 2182 995
e-mail:
dana@nanosys.ihtm.bg.ac.rs