MEMS sistemi za primenu u dinamici fluida na mikro nivou su jedna od najvažnijih primena u procesnom hemijskom inženjerstvu. Osnovni stupnjevi hemijskih procesa su razmena toplote odnosno energija aktivacije koja definiše kinetiku reakcija i mešanje kojim se uspostavlјa kontakt supstanci koje reaguju na molekulskom nivou. U mikroreaktorima oba navedena stupnja se odvijaju na kontrolisan način uz postojanje dobre homogenosti u čitavoj zapremini jer se radi o mikrometarskim i submilimetarskim dimenzijama. Posledica je velika vrednost površine prema zapremini i male vrednosti difuzionog puta što sve povećava brzine masenog transfera. Ovi aspekti pružaju mogućnost postizanja agresivnijih stupnjeva hemijskih reakcija koje nije moguće ostvariti u makroreaktorima iz fizičkih, kvalitativnih ili sigurnosnih razloga. Nadalјe, mikroreaktor se može integrisati u mikroanalitičke uređaje u delu pre analize u cilјu pripreme uzorka ili pojačanja signala.
Mikroreaktori obuhvataju vrlo široku klasu uređaja koji se međusobno dalјe razvrstavaju prema kompleksnosti, stepenu integracije, fizičkim i hemijskim principima i oblastima primene (mikrobiosistemi, hemijska sinteza, energetski izvori, kao sto su mikrofabrikovane gorive ćelije (SOFC - solid oxide fuel cell), itd.
Naš centar raspolaže znanjem za projektovanje i tehnologijama izrade mikroreaktora za određene namene. Mikrofabrikacija obuhvata procese zapreminskog i površinskog mikromašinstva na silicijumu, staklu i nekim polimerima (PDMS, npr.), tehnikenanošenja metalnih i dielektričnih tankih slojeva za različite namene (grejači, katalizatori i sl.), anodno bondovanjei bondovanje sa međuslojem, fotolitografiju, mikroplazma zavarivanje.
S obzirom da istraživačka tematika Centra pokriva oblasti MEMS senzora pritiska i temperature, kao i hemijskih senzora, trebalo bi naglasiti i mogućnost integracije ovih senzora sa mikroreaktorima.
Jedna od klasa mikroreaktora od interesa su fotokatalitički mikroreaktori kod kojih je proces ubrzan površinskim plazmonima polaritonima, zahvalјujući velikim lokalizacijama polјa uz površinu u ovakvim strukturama.
