IHTM PLAVI
Naučna ustanova

Institut za hemiju, tehnologiju i metalurgiju
Institut od nacionalnog značaja

MEMS mikroreaktori

MEMS sistemi za primenu u dinamici fluida na mikro nivou su jedna od najvažnijih primena u procesnom hemijskom inženjerstvu. Osnovni stupnjevi hemijskih procesa su razmena toplote odnosno energija aktivacije koja definiše kinetiku reakcija i mešanje kojim se uspostavlјa kontakt supstanci koje reaguju na molekulskom nivou. U mikroreaktorima oba navedena stupnja se odvijaju na kontrolisan način uz postojanje dobre homogenosti u čitavoj zapremini jer se radi o mikrometarskim i submilimetarskim dimenzijama. Posledica je velika vrednost površine prema zapremini i male vrednosti difuzionog puta što sve povećava brzine masenog transfera. Ovi aspekti pružaju mogućnost postizanja agresivnijih stupnjeva hemijskih reakcija koje nije moguće ostvariti u makroreaktorima iz fizičkih, kvalitativnih ili sigurnosnih razloga. Nadalјe, mikroreaktor se može integrisati u mikroanalitičke uređaje u delu pre analize u cilјu pripreme uzorka ili pojačanja signala.

        Mikroreaktori obuhvataju vrlo široku klasu uređaja koji se međusobno dalјe razvrstavaju prema kompleksnosti, stepenu integracije, fizičkim i hemijskim principima i oblastima primene (mikrobiosistemi, hemijska sinteza, energetski izvori, kao sto su mikrofabrikovane gorive ćelije (SOFC - solid oxide fuel cell), itd.

       Naš centar raspolaže znanjem za projektovanje i tehnologijama izrade mikroreaktora za određene namene. Mikrofabrikacija obuhvata procese zapreminskog i površinskog mikromašinstva na silicijumu, staklu i nekim polimerima (PDMS, npr.), tehnikenanošenja metalnih i dielektričnih tankih slojeva za različite namene (grejači, katalizatori i sl.), anodno bondovanjei bondovanje sa međuslojem, fotolitografiju, mikroplazma zavarivanje.

        S obzirom da istraživačka tematika Centra pokriva oblasti MEMS senzora pritiska i temperature, kao i hemijskih senzora, trebalo bi naglasiti i mogućnost integracije ovih senzora sa mikroreaktorima.

        Jedna od klasa mikroreaktora od interesa su fotokatalitički mikroreaktori kod kojih je proces ubrzan površinskim plazmonima polaritonima, zahvalјujući velikim lokalizacijama polјa uz površinu u ovakvim strukturama.

  • Finansiran od EU kao zapadnobalkanski centar izvrsnosti za mikro i nanosistemske tehnologije Regmina FP7

  • Centar izuzetnih vrednosti MPNTR za mikro i nanosistemske tehnologije od 2014.

  • Nosilac sertifikata ISO 9001.

Kontakt

centar za mikoelektronske tehnologije

Centar za mikroelektronske tehnologije

Adresa:
Njegoševa 12
11000 Beograd 
Laboratorije:
Studenski trg 16/III, Beograd
Telefon: +381 11 2638 188
Fax:+381 11 2182 995
e-mail:
dana@nanosys.ihtm.bg.ac.rs