IHTM PLAVI
Naučna ustanova

Institut za hemiju, tehnologiju i metalurgiju
Institut od nacionalnog značaja

Mikro i nanogredice

Mikrogredice su minijaturne mehaničke strukture čija funkcija se  zasniva na njihovoj mehaničkoj deformaciji pri primeni spolјnjeg stimulusa. Prvobitno su korišćene kao osetlјivi element mikroskopa sa skenirajućom sondom (SPM, AFM), zatim kao osnovni element ultraosetlјivih senzora brojnih fizičkih i hemijskih parametarai kao element radiofrekvencijskih (RF) MEMS i NEMS komponenti

        U Centru se od 2000. godine vrše teorijska i eksperimentalna istraživanja u oblasti senzora sa mikro/nanogredicama i RF MEMS/NEMS rezonantnih gredica. U oblasti senzora, rade se teorijska istraživanja mehaničkog ponašanja mikro/nanogredica homogenog sastava, kao i bimaterijalnih struktura, izloženih različitim stimulusima. U Centru su eksperimentalno izrađene mikrogredice sa piezootpornom i optičkom metodom detekcije pomeraja, što je rezultat jedinstven u Srbiji i regionu. Mikrogredice od zlata za merenje malih EM sila su projektovane i izrađene u Centru. Pored toga, razvijen je metod za karakterizaciju mehaničkih parametara gredica koje su od provodnog materijala ili sadrže provodnu konturu.

mikro

     U oblasti RF MEMS/NEMS rezonantnih gredica u Centru se vrše istraživanja faznog šuma ovih komponenti, koji bitno utiče na performanse sistema, a time i na mogućnost primene mikro/nanogredica u savremenim i budućim bežičnim uređajima. Analizira se adsorpciono-desorpcioni fazni šum, po kojem su RF MEMS/NEMS elektromehanički rezonatori specifični u odnosu na mikroelektronske komponente i elektromehaničke komponente većih dimenzija, a koji može da bude dominantan sa smanjenjem dimenzija gredica. Analiza u kojoj se razmatra adsorpcija smeše gasova na površini mikro/nanorezonatora je originalni rezultat istraživača Centra. Ona omogućuje optimizaciju dizajna komponenti,  sklopova i sistema i razvoj metoda za minimizaciju degradacije signala.

  • Finansiran od EU kao zapadnobalkanski centar izvrsnosti za mikro i nanosistemske tehnologije Regmina FP7

  • Centar izuzetnih vrednosti MPNTR za mikro i nanosistemske tehnologije od 2014.

  • Nosilac sertifikata ISO 9001.

Kontakt

centar za mikoelektronske tehnologije

Centar za mikroelektronske tehnologije

Adresa:
Njegoševa 12
11000 Beograd 
Laboratorije:
Studenski trg 16/III, Beograd
Telefon: +381 11 2638 188
Fax:+381 11 2182 995
e-mail:
dana@nanosys.ihtm.bg.ac.rs