IHTM PLAVI
Naučna ustanova

Institut za hemiju, tehnologiju i metalurgiju
Institut od nacionalnog značaja

Mikroaktuatori

Mikroaktuatori (mikropokretači) su integralni deo nekih MEM (mikro-elektro-mehaničkih) sistema koji imaju različite fizičke funkcije. Istraživački i razvojni napori su usmereni ka primeni i nalaženju različitih principa aktuacije i dizajniranju posebnih struktura pogodnih za specifičnu primenu. Među aktuatorske principe od posebnog interesa, jer ih je moguće primeniti u aktuatorima koji se rade tehnikama mikromašinstva, spadaju elektrostatički, magnetni, piezoelektrični i termalni principi aktuacije. Termalnim principi aktuacije su u osnovi aktuatora na bazi bimetalnih efekata, termalnih pneumatskih efekata, legura sa efektom pamćenja (SMA-shape memory alloy) i efekata mehaničke termalne ekspanzije. Mi smo uspešno realizovali MEM aktuator tehnikama mikromašinstva na silicijumu i staklu na bazi termičkog širenja parafina kao radnog fluida. Fabrikacija ovog aktuatora je obuhvatala tehnike zapreminskog mikromašinstva silicijuma i stakla, anodno bondovanje stakla i silicijuma, izradu termičkog grejača na metalnom filmu primenom tehnologije vakuumskog spaterovanja i definisanja grejača klasičnim fotolitografskim postupcima, punjenje mikro komora parafinom i nanošenje elastične membrane od PDMS-a (PoliDiMetilSiloksana). Pojedinačni aktuatorski elementi su spregnuti u višeelementne baterije, čime je omogućena aktuatorska funkcija za primenu u medicinskim kateterima kojima se može upravlјati.

  • Finansiran od EU kao zapadnobalkanski centar izvrsnosti za mikro i nanosistemske tehnologije Regmina FP7

  • Centar izuzetnih vrednosti MPNTR za mikro i nanosistemske tehnologije od 2014.

  • Nosilac sertifikata ISO 9001.

Kontakt

centar za mikoelektronske tehnologije

Centar za mikroelektronske tehnologije

Adresa:
Njegoševa 12
11000 Beograd 
Laboratorije:
Studenski trg 16/III, Beograd
Telefon: +381 11 2638 188
Fax:+381 11 2182 995
e-mail:
dana@nanosys.ihtm.bg.ac.rs