IHTM PLAVI
Naučna ustanova

Institut za hemiju, tehnologiju i metalurgiju
Institut od nacionalnog značaja

Istraživanje novih tehnoloških postupaka u oblasti MEMS i NEMS

U dosadašnjem radu Centar je razvio zaokruženi niz planarnih tehnologija kojima se mogu izrađivati mikrosistemi i senzori srednje složenosti. U ovom trenutku istraživanja se odvijaju u smeru ovladavanja novim procedurama koje omogućuju izradu MEMS i NEMS čipova sa finijom rezolucijom i većom brojem funkcija. Osnovne teme na kojima se radi su:

  • Submikrometarska fotolitografija direktnim ispisivanjem laserskim snopom
  • Dvostrana fotolitografija (litografska obrada poluprovodničkih pločica istovremeno sa gornje i donje strane, od značaja za kompleksnije MEMS sisteme)
  • Zavarivanje (bondovanje) poluprovodničkih pločica, npr. direktno spajanje silicijuma sa silicijumom.
  • Istraživanje postupaka vlažnog hemijskog nagrizanja (zapreminsko mikromašinstvo). Razvoj zapreminskog mikromašinstva zasnovanog na TMAH (tetrametil amonijum hidroksid).
  • Istraživanje postupaka površinskog mikromašinstva - žrtveni (sacrificial) slojevi i metode oslobađanja tankih struktura iz rastvora za nagrizanje (radi izbegavanja oštećenja i lomlјenja usled dejstva površinskog napona)
  • Finansiran od EU kao zapadnobalkanski centar izvrsnosti za mikro i nanosistemske tehnologije Regmina FP7

  • Centar izuzetnih vrednosti MPNTR za mikro i nanosistemske tehnologije od 2014.

  • Nosilac sertifikata ISO 9001.

Kontakt

centar za mikoelektronske tehnologije

Centar za mikroelektronske tehnologije

Adresa:
Njegoševa 12
11000 Beograd 
Laboratorije:
Studenski trg 16/III, Beograd
Telefon: +381 11 2638 188
Fax:+381 11 2182 995
e-mail:
dana@nanosys.ihtm.bg.ac.rs