IHTM PLAVI
Univerzitet u Beogradu
Institut za hemiju, tehnologiju i metalurgiju
Institut od nacionalnog značaja za Republiku Srbiju

Planarne i MEMS tehnologije

Rukovodilac: Vesna Jović

Grupa se bavi razvojem i primenom planarnih tehnologija, uklјučujući fotolitografiju, oksidaciju i difuziju silicijuma, nanošenje tankih filmova, razvojem i primenom metoda mikro i nanofabrikacije uklјučujući zapreminsko i površinsko mikromašinstvo.

planarne mems

Tematika

  • planarne tehnologije
  • Zapreminsko i površinsko mikromašinstvo

Centar za mikroelektronske tehnologije

  • Finansiran od EU kao zapadnobalkanski centar izvrsnosti za mikro i nanosistemske tehnologije Regmina FP7

  • Centar izuzetnih vrednosti MPNTR za mikro i nanosistemske tehnologije od 2014.

  • Nosilac sertifikata ISO 9001.

Kontakt

centar za mikoelektronske tehnologije

Centar za mikroelektronske tehnologije

Adresa:
Njegoševa 12
11000 Beograd 
Laboratorije:
Studenski trg 16/III, Beograd
Telefon: +381 11 2638 188
Fax:+381 11 2182 995
e-mail:
dana@nanosys.ihtm.bg.ac.rs