IHTM PLAVI
Naučna ustanova

Institut za hemiju, tehnologiju i metalurgiju
Institut od nacionalnog značaja

Ultralјubičasti Si fotodetektori

Istražuju se silicijumski fotodetektori ultralјubičastog zračenja koji su istovremeno neosetlјivi na vidlјivo i infracrveno zračenje (solar blind). Silicijum je ekonomski najbolјa opcija za materijal detektora, međutim njegov maksimum osetlјivost je u vidlјivom i bliskom delu spektra, gde je i inače Sunčevo zračenje za nekoliko redova veličine jače od UV zračenja. Solar blind detektori su od interesa za gorionike u industrijskim postrojenjima, ali i za zaštitu od štetnog zračenja.

        U okciru Centra razmatrana su dva dizajna UV čipa. Jedan koristi zapreminsko mikromašinstvo u kalijum hidroksidu da formira mikrometarski tanku dijafragmu u SOI (Silicon On Oxide) pločici. Drugi koristi standardne silicijumske pin diode sa plitkim spojem na koje se nanosi fluorescentna boja kao konvertor sa UV na vidlјivo zračenje plus metal-dielektrični filter proizveden u Centru koji odseca vidlјivo i IC zračenje (potiskivanje je 4-6 redova veličine). Ovo drugo rešenje nudi potencijal vrlo jeftinih silicijumskih UV dioda pogodnih za masovnu upotrebu i jednostavnih za izradu.

  • Finansiran od EU kao zapadnobalkanski centar izvrsnosti za mikro i nanosistemske tehnologije Regmina FP7

  • Centar izuzetnih vrednosti MPNTR za mikro i nanosistemske tehnologije od 2014.

  • Nosilac sertifikata ISO 9001.

Kontakt

centar za mikoelektronske tehnologije

Centar za mikroelektronske tehnologije

Adresa:
Njegoševa 12
11000 Beograd 
Laboratorije:
Studenski trg 16/III, Beograd
Telefon: +381 11 2638 188
Fax:+381 11 2182 995
e-mail:
dana@nanosys.ihtm.bg.ac.rs