IHTM PLAVI
Naučna ustanova

Institut za hemiju, tehnologiju i metalurgiju
Institut od nacionalnog značaja

Višenamenski MEMS senzori na bazi Zebekovog efekta

MEMS senzori na bazi Zebekovog efekta su predmet dugogodišnjeg teorijskog i eksperimentalnog istraživanja u IHTM-CMT. Jedna od glavnih prednosti ove klase senzora je veoma širok spektar primene. Do sada je realizovano nekoliko generacija termalnih mikrosenzora sa termoparovima. Najnovija generacija predstavlјa multifunkcionalnu strukturu sa pobolјšanim performansama čiji tehnološki proces izrade je kompatibilan sa već osvojenom MEMS tehnologijom proizvodnje IHTM piezorezistivnih senzora pritiska. Sam proces izrade senzora, počevši od izrade maski, preko tehnoloških postupaka koji uklјučuju i zapreminsko mikromašinstvo, predstavlјa potpuno zatvorenu celinu razvijenu u našim laboratorijama.

 

visenamenski mems

 

Kao rezultat teorijskih istraživanja iz ove oblasti proistekli su analitički modeli (1D i 2D), kao i numerički model (softver CoventorWare) koji su namenjeni za proučavanje i optimizaciju performansi senzora. Eksperimentalna istraživanja su obuhvatila razvoj eksperimentalne metode i testiranje senzora za sledeće primene: 1) merenje protoka gasova (azot), 2) senzor vakuuma, 3) termoelektrični konvertor, 4) senzor vrste gasa (helijum), 5) inteligentni senzor vakuuma.

  • Finansiran od EU kao zapadnobalkanski centar izvrsnosti za mikro i nanosistemske tehnologije Regmina FP7

  • Centar izuzetnih vrednosti MPNTR za mikro i nanosistemske tehnologije od 2014.

  • Nosilac sertifikata ISO 9001.

Kontakt

centar za mikoelektronske tehnologije

Centar za mikroelektronske tehnologije

Adresa:
Njegoševa 12
11000 Beograd 
Laboratorije:
Studenski trg 16/III, Beograd
Telefon: +381 11 2638 188
Fax:+381 11 2182 995
e-mail:
dana@nanosys.ihtm.bg.ac.rs