MEMS senzori na bazi Zebekovog efekta su predmet dugogodišnjeg teorijskog i eksperimentalnog istraživanja u IHTM-CMT. Jedna od glavnih prednosti ove klase senzora je veoma širok spektar primene. Do sada je realizovano nekoliko generacija termalnih mikrosenzora sa termoparovima. Najnovija generacija predstavlјa multifunkcionalnu strukturu sa pobolјšanim performansama čiji tehnološki proces izrade je kompatibilan sa već osvojenom MEMS tehnologijom proizvodnje IHTM piezorezistivnih senzora pritiska. Sam proces izrade senzora, počevši od izrade maski, preko tehnoloških postupaka koji uklјučuju i zapreminsko mikromašinstvo, predstavlјa potpuno zatvorenu celinu razvijenu u našim laboratorijama.
Kao rezultat teorijskih istraživanja iz ove oblasti proistekli su analitički modeli (1D i 2D), kao i numerički model (softver CoventorWare) koji su namenjeni za proučavanje i optimizaciju performansi senzora. Eksperimentalna istraživanja su obuhvatila razvoj eksperimentalne metode i testiranje senzora za sledeće primene: 1) merenje protoka gasova (azot), 2) senzor vakuuma, 3) termoelektrični konvertor, 4) senzor vrste gasa (helijum), 5) inteligentni senzor vakuuma.
